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扩散原理 扩散车间的基本生产流程 人员、生产、设备的安全培训 单晶硅太阳能电池 多晶硅太阳能电池 扩散方法 1. 三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 2.涂布源扩散 3.固态氮化硼源扩散 目前业内批量生产采用第一种方式 可分为三步： POCL3→PCL5+P2O5（800度左右） PCL5+O2→P2O5+CL2 P2O5+Si→SiO2+P 插片：戴好手套，手套的戴 法为：内层汗布手套外层PVC 手套。调节插片台风量，然 后用石英吸笔吸取硅片后轻 轻插入石英舟的槽中，每槽 一片插入石英舟（做单面扩 散时每槽插两片）。 主要操作要求 检测：等待硅片冷却后，每炉取出5片检验，他们的位置应该为石英舟的五个均匀分布点，将测试片按照从炉口到炉尾的顺序取下来，按照硅片盒的小面到大面方向放入盒内，用作测试方块电阻。（详见《方块电阻测试作业指导书》） 下片：用吸笔或镊子依次将硅片从石英舟中取出放置在洁净的传递盒中（注意轻拿轻放，避免摩擦碰撞，防止P-N结损坏），放入传递窗，卸片时注意片子正反面，一律规定正面朝上并且不得发生磨擦（规定扩散面为正面）。 返工片处理方法 扩散车间不合格片返工流程 1.二次扩散，生产中方块电阻偏高的，可以做二次 扩散工艺。 2.反面扩散，后清洗传过来的硅片，在反面做生产工艺。