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广东星星光电科技有限公司企业标准 镀膜机操作规程 Q/FPT J05127-2011 机前的准备 1.开水 开冷却水的泵组开关，确认水压为0.3—0.4MPa。 2.开气:确认压缩空气压力为0.6MPa以上。 3.开电顺序：总电源开关 AVR 开关 机器前的MAIN POWER开关 电子枪(beam power)开关 IC5电源开关。 4.启动机器：确认水,电,气都正常之后 , 进行如下操作POWER ON MODE SELECT MANU NEXT RP SRP SFV1、2 ON MBP ON 20S SF1、2 OFF FV1、2 ON DP1、2；当DP油温度达到设定的220度后，使机器在 MODE SELECTOR选择AUTO NEXT,此时机器开始自动运行,开机完成。 操 作 1.镀膜准备(STANDBY): A.机器卫生:开机完成后按AUTO STOP键充气开门,打扫机器,特别要注意的是 电子枪、离子源处用吸尘器吸以达到没有任何杂物（用手去摸没有明显赃物）,坩埚边缘以及挡板用刀片刮干净后吸干净,在整个动作过程要注意别碰动修正板。 B.添加膜料:膜料不能加得过满(确保坩埚旋转不被卡住),药材在坩埚中的标准位置：比坩埚高出2-3mm（像Tio2、MgF2等预熔药材，要求的是预熔后的状态），确保同样状态的药材可以使在量产时稳定，罩之间的一致性比较好；注意不同的药材用不同的药勺,添料之后关上挡板,以免装夹时杂物掉入。 C.CRYSTAL检查:通过IC5检查CRYSTAL的ACT值,在IC5的主界面下按SENSOR键可以看到这个数值,ACT值若小于400则把CRYSTAL 更换,新的CRYSTAL 要确保表面无污质（过程中不能有手指印上去）,若有则用酒精乙醚擦干净后才能装入（过程中晶振装置里的三个镀金触角不能手碰，顺时针方向转动安装，否则会将触角折弯）,装好后按一下IC5的RESET 键观察ACT值是否符合,以确认CRYSTAL 是否装到位。 D.装夹:上夹后需要确保每个夹具都装到位,若是要自动翻转的产品则要检查每个夹具是否能够安全翻转到位。 E.确认：确认无误后关门(经常要注意真空室门的密封圈是否干净,若不干净则用酒精乙醚擦干净后再涂点真空油),按下DOOR CLAMP 1PAGE FLOW AUTO RUN（若需要双面镀膜的则按2 PAGE FLOW AUTO RUN键。 2.镀膜: A.预熔:当真空度达到6E-05时可以对膜料开始预熔,电子枪INT 档,开电流(按 ACC ON 和 FIL ON)具体预熔根据材料特性选用不同的方法.要所有的操作员都清楚地认识到预熔的好坏将直接影响到镀膜的结果，切勿为节省时间而把电流加到很大。 B.IC5中程序的选择:在IC5主界面的情况下,按PROGRAM,进入后再按 PROCESS DIRECTORY,进入子界面后用箭头选择所需要的程序,选定程序后按 ACTIVE PROCESS ,此时IC5 屏幕右上角则会显示你所选的程序号码,表明所需要的程序被激活,之后返回到IC5主界面。 C.确认离子源:依次按POWER 、GAS 、START ,当真空度到达5E-05Torr，离子源自动清洗基片，此时要求Ar的流量为12 Sccm，中和电流为9—10A。 D.镀前确认: 观察O2和Ar的压力是否正常 , 把EB 打到EXT 档并且确认程序的号码并校对每个膜层厚度,并确认机台的每个组件都处于AUTO档。 E.开始镀膜:按IC5中的START 键,开始镀膜,在镀的过程中注意以下几点: 1),电子枪的光斑位置和范围(从膜料上观察、在未开挡板前很短的时间内要调整好,在调整好之后镀的过程中尽量不要再调节); 2),电子枪的功率POWER是否稳定(从IC5的屏幕上可以看到); 3),RATE曲线要稳定(可以从IC5屏幕看); 4), 流量计上的数值是否正确和稳定,离子源的各表是否处于规定的数值范围内;5), 若是自动翻转的则在镀完一面后按 RESEVERSE Cylindar START ，同时要密切注意翻转是否到位。 F.镀膜结束:当镀膜最后一层完成后,把EB从EXT打到INT,机器自动按照设定的时间参数充气开门。 三．关 机 镀膜结束后,将机台抽到高真空10-5Torr，选择MANU状态按MV O