氧化钨基半导体气体传感器的研究进展.pdfVIP

· 14· 材料导报A：综述篇 氧化钨基半导体气体传感器的研究进展。 王杰，耿欣，张超 (扬州大学机械工程学院，扬州225127) 摘要 近年来，氧化钨(WO。)基半导体气体传感器由于可用来检测低浓度二氧化氮、二氧化硫、臭氧和氨气等 气体而受到广泛关注。将Wq基材料分为4类：纯w()3材料、氧化物一w03复合材料、贵金属一w(：)3复合材料和有 机物一w嘎复合材料，总结近年来中外文献中W()3基材料对不同气体的响应性能，展现近年来国内外w03基半导 体气体传感器的研究进展。最后根据已有的工作进展，提出合成新型纳米材料、降低工作温度、提高传感器选择性应 成为W()3基半导体气体传感器下一阶段的研究重点。 关键词 氧化钨气体传感器气敏性能 2016．01．003 中图分类号：TP212．2文献标识码：A DOI：10．11896／j．issn．1005—023X Advancein Oxide-basedSemiconductorGasSensors Tungsten WANG Xin，ZHANGChao Jie，GENG of Mechanical 225127) (College Engineering，YangzhouUniversity，Yangzhou Abstract semiconductorsensorattractsmuchattention is usedfordetec— Wo—based gas nowadays．Itwidely semiconductorsensorsare intofour tionofN()2，Os，H2S，NH3，etc．W03一based W03， gas categorizedtypes：pure oxide，noblemetalactivatedmetaloxidesand oxides．Thisreview newadvance— composite polymer-metal presents mentsin 0fthese sensors．Basedonthe results。itis thatthe WOs—based sensingproperties gas published suggested 0fnewnanostructured in and in should materials，reduction development workingtemperatureimprovementselectivity be forthefutureworkon sensors． W(九一based emphasized gas words Key tungstenoxide。gassensor。sensingproperties