多爪式干式真空泵原理分析报告.docxVIP

多级爪式干式真空泵原理分析多级爪式干式真空泵是上世纪末快速发展成熟的新型(变容积)真空泵，由于其如下突出优点:泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3 Pa等，在电子行业得到了非常广泛的应用，替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能卓越而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业，并呈逐年上升的趋势。其主要的结构型式有螺旋型和反爪式，其结构各有优势，相比较而言反爪式比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制，泵的抽速目前基本上只做到小于600立方米每小时，不能够满足化工和制药等大抽速的需要。? ? ?针对这种情况，东莞大路通结合以上两种结构的优势，推出螺旋反爪结构，达到更少材料、更低能耗、更好维护、更大抽速的效果，而且能适合化工、制药、环保等领域的需要。1传统经典爪式泵的工作原理? ? ?（1)单级爪泵的工作原理:? ? ?如图1所示，在图la位置A腔和进气口4接通，随着转子对的同步反方向运动A腔容积变大，气体就吸入泵内，B腔内的气体也在转子对的作用下得到了逐渐压缩，我们称为吸气过程;图1b位置A腔容积继续变大，继续吸气，同时，B腔的容积在转子对的同步反方向运动下逐渐变小，运动到和排气口接通的位置气体通过排气口排到下一级，这个过程一直会持续到图lc位置，吸气和排气同时进行，简称为吸排气过程;在图lc位置A腔达到了最大容积，吸气结束和B腔的容积达到了最小