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PECVD的结构及在太阳能电池制造中的使用HZZ

工艺气体反应图 PECVD工艺显示界面 辉光放电介绍 电极 电极口 PECVD安全注意事项 人身安全 舟和桨从炉管中出来后带有高温,移动小车时要注意不要被烫伤。 机器在自动运行状态下严禁进入机器内部。 进入机器前,需把选择开关打到手动“HAND”,待机械手执行完命令停下后,方可进入机器。 清理管内碎片时需戴上高温手套和防护眼镜。 接触到碎片时,务必戴好乳胶手套,以防刺到手。 做吸笔时,要防止吸笔切断的部分对自己或他人造成伤害。 上班要精神饱满,动作严禁“自主创新”,必须按章操作 设备 设施 工夹具的安全 机器在生产的过程中需有人看护。 未经培训合格不得操作设备,未经授权严禁使用工序长得权限操作机器。 推小车进机器时,要首先确定电极孔的位置对内向炉体,否则有可能撞坏高频的两根电极。 在SLS处于UP位置时,管内有舟不可手动进桨。 在SLS处于DOWN位置时,桨上有舟不得手动进舟。 桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。 PECVD安全注意事项 舟位于储存架时,一定要确认储存架上的感应器有没有感应到。 遇到两舟向撞时,立即按压“HANDLING STOP”。 机械臂把舟抓到桨上后,工艺无法正常运行,先确定舟在桨上的位置,以及Tube=ready、SLS=up 、 TGA=yes,然后进行其它操作。 退舟时,发生“Boat failure”的警报,观察舟的位置是否正确后才可以对警报进行复位。 当发生舟桨分离时,立即按压“HANDLING STOP”。 清理管内碎片要注意热电偶,清理结束后一定要将热电偶放于管子的中间位置,否则进退舟时有可能被撞掉。 PECVD安全注意事项 从手动切换到自动状态时,机械臂一定有在Middle的位置,否则机械臂有可能无法运行而报警。 下料后,及时把小车推到冷却房,小车解锁后严禁放置设备中不移走。 推小车时,不能脱离小车,要竖着推车,如果周围有人时应事先通知,待回应后方可继续推行。 进出舟时,待舟完全进入或者完全退出时,员工方可离开。 小车被锁定后,严禁转动小车托盘。 拿放石墨舟进出柜时,必须两个人,一个人拿舟,一个人开柜。 在无人的情况下,小车托盘必须保持水平状态 。 PECVD安全注意事项 产品安全 进入机器需戴手套不允许手直接接触石墨舟和小车上的不锈钢网罩 从刻蚀间运片子时保证有片子的小车盖子盖好 拉到PECVD岗位后,需将片子放入洁净柜中 保证流到下道工序片子的质量 拿片子时,只允许一只手拿一盒 搬运木制承载盒时,双手要托住盒子底部 PECVD安全注意事项 卸片后,承载盒必须放入小车内,严禁放在小车盖子上。 工序主管、工序长不在现场时,不允许用手移动石墨舟。 出现事故,第一时间通知值班经理到场,且保留现场,绝不允许有隐瞒事故真相的事情发生。 PECVD安全注意事项 手推车的推法 从刻蚀间推硅片时,把数量对号后,盖子盖好之后方可推行 推行的方位是小车盖子的打开方向,不可以按扶手的方向推车,以免盖子的支撑柱伤到人或其他。 推行时要注意小车的平稳,严禁忽快忽慢。 到达岗位时将小车放到指定的位置。 盖子打开取出硅片后,要把盖子重新盖好。 卸空了的承载盒放到小车下面或者车子里面。 盖子盖好后返还刻蚀间。 小车的推法 推小车的方向是竖着的。 推小车的速度要平稳且缓慢。 推小目视要面向前方,如周围有人要事先通知,待回应后方可继续推行。 小车行走时要按照指定的路线进行。 小车移动时,手不能脱离小车。 移动小车时,要与墙面、设备、设施、工夹具等,保持一定的距离避免相撞。 PECVD的其他设备情况: 石膜舟,清洗机,烘箱,冷却台,装片台,承载台,存储柜,保护柜。奥曼特 椭偏仪 SENTECH 椭偏法是一种测量光在样品表面反射后偏振状态改变的广西方法,它可以同时测得样品薄膜的厚度和折射率。 椭圆偏振仪原理与测试分析: 单(多)晶颜色差: A级片(优质片):单片电池的颜色均匀一致,颜色范围从蓝色开始,深蓝色、红色、黄褐色、到褐色之间允许相近色差(例如:蓝色和深蓝色存在于单体电池上,但是不允许跳色,即蓝到红),主体颜色为深蓝色,单体电池最多只允许存在2种颜色。 B级片(一级片):单片电池颜色不均匀,允许存在跳色色差,最多跳一个相近色(例如:红色和褐色存在于单体电池上),主体颜色为蓝色~红色范围,单体电池最多只允许存在3种颜色。 C级片(降级片):超过B合格片的检验范围,包括完全未镀上减反射膜的电池片。 判断PECVD 的产出硅片的质量 判断PECVD 的产出硅片的质量 氮化硅颜色与厚度的对照表 颜 色 厚度(nm) 颜 色 厚度(nm) 颜 色 厚度(nm) 硅本色 0-20 很淡蓝色 100-110 蓝 色 210-230 褐 色 20-40 硅本色 1

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