像散式光学量测系统抗飘移电路之最佳化Astigmatic-中华科技大学.PDFVIP

Journal of China University of Science and Technology Vol.58-2014.0 1 像散式光學量測系統抗飄移電路之最佳化 Astigmatic Measuring Optical Measurement System Optimized Anti-drift Circuit 林明山 1 胡恩德 2 宋真坦 3 M.-S. Lin1 E.-T. Hwu2 J.-T. Sung3 1 中華科技大學電子研究所 碩士生 Department of Electronic Engineering Master student, China University of Science and Technology 2 中央研究院物理研究所 教授 Institute of Physics, Academia Sinica Professor 3 中華科技大學電子研究所 教授 Department of Electronic Engineering Professor, China University of Science and Technology 摘 要 像散式讀取頭 (Optical Pickup Unit, OPU)為光碟機讀取光碟片資料軌的核心元 件。 OPU 具備奈米級線性位移量測解析度與角秒級角度解析度 [1] ，許多研究已成 功利用數位影音光碟機 DVD讀取頭進行精密量測 ，如：光像散式原子力顯微鏡 [2] 、 共振頻檢測系統、像散式光學干涉儀。 僅管讀取頭可量測到奈米級的位移，然而微小的環境溫度變化以及機械應力 皆可使系統機構產生微小變形，造成訊號緩慢飄移而影響測量的準確度。 此類機 構的緩慢飄移，可透過音圈馬達(Voice Coil Motor, VCM的) 抗飄移補償[3] ，使系統 維持在量測範圍內。本研究運用最佳化電路實現自動對準與抗飄移補償電路機制 ， 可有效降低環境變化造成之訊號飄移，使讀取頭維持在最佳線性區斜率最陡範圍 內，抑制飄移誤差，並提高精確度。 關鍵詞：像散式讀取頭、音圈馬達、抗飄移補償機制、聚焦誤差訊號 Abstract Optical pickup unit (OPU) is the main component of CD-ROM, which can be used to read data from CD, has astigmatic measuring techniques and milliarcsecond resolution [1]. In recent years, multifunctional DVD devices play an important role in many nanoscale measurement systems. For example, Astigmatism-based Atomic Force 61 像散式光學量測系統抗飄移電路之最佳化 Microscopes[2], resonance frequency investigation system and astigmatic optical interferometer measurement. Nevertheless, the drift of displacement signals often reduces the measurin