[工学]薄膜光学第四章.pptVIP

结合具体使用场合选材 胶合使用的场合，对机械和化学性能比较低； 潮湿场合，对耐潮湿性能比较讲究； 海面应用场合，对盐碱类的腐蚀作用比较讲究； 高温高寒场合，强调温度的影响； 高能激光薄膜，考虑抗激光损伤阈值。 抗高能辐射：激光、紫外辐射或高能粒子都可引起薄膜损伤。 1）激光波长、激光脉冲宽度和重复率； 2）薄膜材料本身的性质，如吸收、薄膜结构、机械强度、附着力、应力、热稳定性、熔点、热导和热膨胀系数等。 作业题 提高膜层的机械强度需要考虑哪些工艺参数？请简要说明原因。 对介质或半导体薄膜材料,有哪五个方面的性质比较重要？请简述之。 影响膜层厚度均匀性有哪些主要因素？ 教学内容 教学目的和要求 光学薄膜器件的质量要素（光学性能、机械、环境等）；影响膜层质量的工艺要素；获得精确膜层厚度的方法；获得均匀膜层的方法。 了解和掌握影响光学薄膜质量的主要因素以及控制方法。 光学镀膜技术 光学镀膜工艺 光学镀膜理论和设计 4.1 光学薄膜器件的质量要素 光学镀膜器件的光学性能 光学薄膜的光学常数：折射率和厚度。 膜层折射率误差来源、膜层厚度误差来源 膜层折射率误差来源 1）膜层的填充密度，也叫聚集密度。它是膜层的实材体积和膜层的几何轮廓之比。 2）膜层的微观组织物理结构。即使用同样的膜层材料，采用不同的物理气态沉积技术（PVD），得到的膜层具有不同的晶体结构状态，具有不同的介