—表面粗糙度的测量方法.PDF

《公差配合与测量技术》之 表面粗糙度检测方法 交通学院 纪飞龙 一、表面粗糙度的评价 对表面粗糙度的评价主要分为定性和定量两 种评定方法。 定性评定是将待测表面和已知表面光洁度级 别的标准样板相比较，通过目估或借助于显微镜 以判别其级别。 定量评定则是通过一定的测量方法和相应的 仪器，测出待测表面的不平度数值。 实际工作中，对加工表面粗糙度的评定可归 纳为如下几种方式。 二、常用的测量方法 1、比较法 将被测零件表面与粗糙度样板， 借助于检测人员的肉眼观察和手摸 感触进行比较，从而估计出表面粗 糙度。 2、光切法 就是利用 “光切原理”来测量被 测零件表面的粗糙度。 3、光波干涉法 它是利用光波干涉原理测量表 面的峰谷高度。 四、触针法 一、与表面粗糙度标准样板比较的方法 • 表面粗糙度样板：按各种加工方法做成的不同几何形状的 一套标准表面样块，用来与被测的表面 相比较。 表面粗糙度样板 • 测量方法： – 目测法：Ra值2.5-80m的表面； – 用5～10倍放大镜比较：Ra值0.32-2.5m的表面； – 用比较显微镜：Ra值0.08-10m的表面。 – 触觉比较法：被加工表面Ra值0.63-10m。 • 注意点：样板与被测件的加工方法、材料、形状都相同。 • 适用范围：工厂比较常用，尤其是车间检验中常用。一般 只用于粗糙度评定参数值较大的情况下，其判断的准确性 很大程度上取决于检验人员的经验，当有争议时可用仪器 进行测量。 二、干涉显微镜测量表面粗糙度 干涉显微镜测量原理： 联合运用干涉原理和显微放大原理。对测量 面垂直高度方向的微观不平度通过光波干涉法进 行放大测量，对表面粗糙度的水平参数通过显微 放大系统测量。 干涉显微镜测量范围：Rz =0.8m～0.025m。 三、触针法测量表面粗糙度 1．触针法的测量原理 • 触针法又称针描法，它是一种接触式测量方法，是利用仪器 的测针与被测表面相接触，并使测针沿其表面轻轻划过以测 量表面粗糙度的一种测量法。 • 将一个很尖的触针（半径可以做到微米量级的金钢石针尖） 垂直安置在被测表面上作横向移动，由于工作表面粗糙不平， 因而触针将随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运动。将这种 微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理，即 可得到工件表面粗糙度参数值；也可通过记录器描绘出表面 轮廓图形，再进行数据处理，进而得出表面粗糙度参数值。 这类仪器垂直方向的分辨率最高可达到几纳米。