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本章学习压电传感器 的原理、应用及振动频谱分析。 第一节 压电传感器的工作原理 压电式传感器是一种自发电式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件，因此结构坚固、可靠性、稳定性高。 一、压电效应 天然结构的石英晶体呈六角形晶柱，用金刚石刀具切割出一片正方形薄片。当晶体薄片受到压力时，晶格产生变形，表面产生正电荷，电荷Q与所施加的力F成正比 ，这种现象称为压电效应 。还有一些人造的材料也具有压电效应。 若在电介质的极化方向上施加交变电压，它就会产生机械变形。当去掉外加电场时，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应（电致伸缩效应）。 石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 二、压电材料的分类及特性 压电传感器中的压电元件材料一般有三类： 一类是压电晶体（如上述的石英晶体）； 另一类是 经过极化处理的 压电陶瓷；第三类是高分子压电材料。 （一）石英晶体 天然形成的石英晶体外形（续） 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体的特点: 性能非常稳定.(压电常数的温度变化率很小) 灵敏度低,压电常数小. 自振频率高,动态响应好,机械强度高,绝缘性能好等. 用于标准传感器,高精度传感器或使用温度较高的传感器中. （二）压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多,d=(200～500)×10-12C/N，是石英晶体的一百倍以上.而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷 。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系压电陶瓷 （如BaTiO3等）。 压电陶瓷外形 无铅压电陶瓷及其换能器外形 （上海硅酸盐研究所研制） 高分子压电薄膜及拉制 （三）高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯（PVF2或PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、改性聚氯乙烯（PVC）等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB。 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应） 压电元件常用的结构型式 在压电式传感器中,压电材料一般采用两片或两片以上压电元件组合在一起使用. 层叠式压电元件的并联连接:适用于慢变信号和以电荷为输出量的场合. 层叠式压电元件的串联连接: 第二节 压电传感器的测量转换电路 压电元件的等效电路:可以看成是一个电荷发生器或电容器,电容值: 压电传感器的测量转换电路中采用性能稳定的电荷放大器 电荷放大器的等效电路图(电容负反馈电路) 电荷放大器的输出电压仅与输入电荷和反馈电容有关，电缆长度等因素的影响很小： 四通道电荷放大器外形 . 上图所示的四通道电荷放大器指标（参考东方振动和噪声技术研究所资料） 灵 敏 度：0.1～1000mV/pC???????频率范围：0.3～100KHz ?????? ?噪声(最大增益)：折合至输入端小于5μV???????准 确 度：1%???????最大输出：±10V/10mA???????电????源：220V/50Hz? ?控制方式：?计算机或手动 超小型电荷放大器模块 主要指标:???????灵 敏 度：1、10、100mV/pC(任选一档)???????频率范围：0.3～100KHz(上、下限可选)???????噪声(最大灵敏度)：输出端小于1mV???????归 一 化：外接电阻调整???????线性误差：1%??