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07.边缘腐蚀用主要设备和操作规程.pptVIP

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  • 2018-03-27 发布于江西
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07.边缘腐蚀用主要设备和操作规程.ppt

    07.边缘腐蚀用主要设备和操作规程.ppt

    边缘腐蚀用主要 设备和操作规程 操作示范 启盖操作 工艺流程 工艺流程时间设定 工作气体流量设定及作用 CF4流量设定184sccm O2流量设定16sccm N2流量设定200sccm 尾气作用 稀释作用 匹配调试参数说明 板压 板流 功率设定 反射功率 驻波比 匹配电容的调节 日常保养 等离子刻蚀机操作规程 完 * * 1.预抽1.2分钟 2.主抽2分钟 3.充气2分钟 4.辉光见工艺 5抽空1.8分钟 6充气响铃提示 1.保持设备内部地面清洁 2.保持台面清洁 3.保持真空泵清洁 1 2 3

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