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PN 结是构成各种半导体器件的基本单元。 第 2 章 PN 结 分析方法:将 PN 结分为三个区,在每个区中分别对半导体器件基本方程进行简化和求解。 P 区 NA N 区 ND 突变结:P 区与 N 区的杂质浓度都是均匀的 ,杂质浓度在冶金结面(x = 0)处发生突变。当一侧的浓度远大于另一侧时 ,称为 单边突变结 ,分别记为 PN+ 单边突变结和 P+N 单边突变结。 线性缓变结:冶金结面两侧的杂质浓度随距离作线性变化,杂质浓度梯度 a 为常数。 平衡状态:PN 结内部的温度均匀稳定,不存在外加电压、光照、磁场、辐射等外作用。 2.1 PN 结的平衡状态 本节将介绍 PN 结 空间电荷区的形成,PN 结的 内建电场、内建电势,及平衡时的 PN 结 空间电荷区宽度。 2.1.1 空间电荷区的形成 平衡少子 P 区: N 区: 利用 n0 p0 = ni2 的关系,可得 平衡多子 P 区: N 区: 可见, 空穴扩散:P 区 N 区 电子扩散:P 区 N 区 扩散电流方向为,P 区 N 区 P 区 N 区 NA-,pp0 ND+,nn0 扩散电流: P 区 N 区 漂移电流: P 区 N 区 P 区留下 NA- ,N 区留下 ND+ ,形成 空间电荷区。空间电荷区产生的电场称为 内建电场,方向为由 N 区指向 P 区。电场的存在会引起漂移电流,方向为由 N 区指向 P 区。 达到平衡时,净电流 = 0 。于是就形成一个稳定的有一定宽度的空间电荷区。 内建电场 空间电荷区 P 区 N 区 NA- ND+ NA- pp0 ND+ nn0 耗尽近似:假设空间电荷区内的载流子完全扩散掉,即完全耗尽,空间电荷完全由电离杂质提供。这时空间电荷区又可称为“耗尽区”。 中性近似:假设耗尽区以外多子浓度等于电离杂质浓度 ,因而保持电中性。这时这部分区域又可称为“中性区”。 2.1.2 内建电场、内建电势与耗尽区宽度 1、耗尽近似与中性近似 P 区 N 区 NA- ND+ NA- pp0 ND+ nn0 对于 突变结,由第一章例 1.1 的式(1-14a),当采用耗尽近似后,在 N 区的耗尽区中,泊松方程为 积分一次,得 由边界条件: 可求得常数 C 为 2、内建电场 于是可得 (2-5a) P N 同理,在 P 区耗尽区中求解泊松方程,得 以上求得的 E(x) 就是 PN 结的 内建电场。 (2-5b) 在 x = 0 处,内建电场达到最大值, 由上式可求出 N 区与 P 区的耗尽区宽度 及 总的耗尽区宽度, 式中, 称为 约化浓度 。 3、耗尽区宽度 (2-6) (2-8) (2-7) 对内建电场作积分可得 内建电势(也称为 扩散电势)Vbi 或 4、内建电势 (2-10) 但是有 4 个未知数,即 、 、 和 。下面用另一种方法来求 。 以上建立了 3 个方程,即( 2-6 ) 、( 2-7 ) 和 ( 2-10 ) , (2-6) (2-7) (2-10) 并可进一步求出内建电势为 从上式可解出内建电场, 已知在平衡状态下,净的空穴电流密度为零,故由空穴的电流密度方程可得 由于 , ,故得 Vbi 与掺杂浓度、温度及半导体的种类有关。在通常的掺杂范围和室温下,硅的 Vbi 约为 0.75V。 (2-13) 最后可得 对于 P+N 单边突变结, 则以上各式可简化为 5、单边突变结的情形 对于 PN+ 单边突变结, 以上各式又可简化为 可见,耗尽区主要分布在低掺杂的一侧, 与 也主要取决于低掺杂一侧的杂质浓度。 在平衡状态下, PN 结能带图中的费米能级 EF 是水平的 ,而导带底 EC、价带顶 EV 与本征费米能级 Ei 则均与 有相同的形状,由此可画出平衡 PN 结的能带图
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