薄膜物理第六章.pptVIP

要 点 1) 薄膜的厚度测量； 2) 薄膜形貌和结构的表征 3) 薄膜成分的分析； 4) 薄膜附着力的测量。 §6.1 薄膜厚度的测量 1、不透明薄膜厚度测量的等厚干涉和等色干涉法 是利用物质界面对于不同偏振态的光具有不同的反射、 折射能力的特性。因此，在讨论椭偏仪方法之前，我们需 要首先讨论一下偏振光在薄膜表面与界面处的反射与透射 现象。 §6.2 薄膜结构的表征方法 §6.3 薄膜成分的表征方法 §6.4 薄膜附着力的测量方法 小结 薄膜厚度的测量，常用光学测量方法（等厚干涉，等色干涉，偏光分析等）、机械测量方法（表面粗糙仪，称重法，石英晶体振荡法） 薄膜结构的表征，包括宏观形貌、微观形貌和显微组织。常用仪器设备：扫描电子显微镜，获取二次电子像、背反射电子像得到薄膜的表面形貌；透射电子显微镜，分析衍射电子束以及透射电子束，获得薄膜结构信息；扫描探针显微镜、原子力显微镜可获得薄膜原子尺度的表面结构信息。 薄膜成分的表征，常用仪器设备有：X射线能谱仪、俄歇电子能谱、X射线光电子能谱、卢瑟福背散射技术、二次离子质谱等。 薄膜附着力的测量方法一般只具有定性的意义。 1）高能离子在远离原子核的地方通过，并以不断激发原子的电子的方式消耗能量。由于每次碰撞损失的能量相对较小，且碰撞频繁，所以，可以认为能耗过程几乎连续。 2）