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压力测量系统 HYDRA-Dry 超高纯压力传感器 型号HD 威卡 (WIKA) 数据资料SP 99.22 应用 半导体工业 UHP液体化学品输配系统 功能特性 获得专利的双膜片设计 完全干燥：非金属陶瓷传感器，无充液 接液部件材质为氟烷氧基 (PFA) 传感器即使在安装后也可以270°旋转 防护等级IP 67 可选：HYDRA-Indicator型面板安装式或集成式显示器 HD型HYDRA-line ，传感器系统4 ... 20 mA, 2线制以及死端1/2 扩口螺纹过程连接 描述 HYDRA-line HYDRA-line系列压力测量仪表是我们和知名半导体企业（威 卡客户）联合开发而成。所有该系列产品都满足过程设备和 UHP化学品输配系统的特殊应用要求。 HYDRA-Dry压力传感器具有高精度、高可靠性、超洁净的接 液部件和表面。 产品没有使用充液，不会造成污染。 此外，所有接液部件的生产、清洁组件的装配、校验和包装 均是在100级无尘室中完成的。 双重安全 获得专利的HYDRA双膜片系统可以安全可靠地将压力传感器 与工作介质隔离开。此外，该型号产品还会将HF或HCI蒸汽 等扩散介质排到外部环境中，从而可防止造成错误的测量结 HD型HYDRA-line压力传感器4 ... 20 mA, 2线制，带集成数显仪 果或破坏传感器元件。 (HYDRA-Indicator)圆筒形1/2扩口螺纹过程连接。 本产品的销售提议不推断或暗示与特定应用的化学兼容 性。 该产品的一些应用可以并将导致化学品通过隔膜材料扩 散。 威卡 (WIKA) 数据资料SP 99.22 · 09/2008 第1/6页 HYDRA-Gauge HG型 详情请参见数据资料SP 99.20 HYDRA-Sensor HS型 详情请参见数据资料SP 99.21 规格参数 HS型HRDRA-Dry压力传感器 压力范围 MPa 0 … 0.25 0 … 0.4 0 … 0.6 psi 0 … 30 0 … 60 0 … 100 kPa 0 … 250 0 … 400 0 … 600 传感器过压安全性 MPa 4 1) 压力参考 相对压力，不适用于真空 过程连接 圆筒形3/8 、½ 、¾ 、1和1 ¼扩口螺纹 死