微光学课件知识讲稿.pptVIP

1- Optical MEMS 2- Optical MEMS MEMS发展回顾 光纤通信中的应用 光学研究和应用 光数据存储 其它应用 3- MEMS发展回顾 微电子机械系统（Micro Electro Mechanical Systems，缩写为MEMS） 微系统 微机械 欧洲和美国“微世界”的研究是由半导体工艺技术启动，即带有机械的微电子技术，固称之为微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems，美国惯用词)或称之为微系统(Microsystems，欧洲惯用词)。 日本实现“微世界”（Micro World）以系统方式从机械电子(Machatronics)开始。固称之微型机械(Micromachine，日本惯用词)。 4- MEMS发展回顾 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，甚至接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。图1是一典型的MEMS示意图。由传感器、信息处理单元。执行器和通讯/接口单元等组成。其输入是物理信号，通过传感器转换为电信号，经过信号处理（模拟的和/或数字的）后，由执行器与外界作用。每一个微系统可以采用数字或模拟信号（电、光、磁等物理量）与其它微系统进行通信。MEMS在航空航天、汽车、工业、生物医学、信息通讯、环境监控和军事等领域有着广阔的应用前景。 7- 光纤通信中的应用 随着世界通信业务量的飞速增长，光传送网技术已成为国际上的研究热点。据估计，以光电子信息技术为主导的信息产业产值将在2010年达五万亿美元，成为二十一世纪最大的产业。 8- 研究热点 随着世界通信业务量的飞速增长，光传送网技术已成为国际上的研究热点。（全光通信网、WDM全光网、光传送网是同一事物的不同名称，最近ITU的建议是光传送网optical transport network）。 趋势 九十年代初，在一些发达国家中，人们预计原有的铜电缆会从1995年起逐渐被FTTH（光纤到户）代替。1998年这种趋势已被证实。但是，步子已经放慢，特别是光纤到户。光传送网的推广，光纤到户能否实现，取决于网络的价格，只有价格到了可接受的地步，才能真正进入家庭，光传送网中低价位光学元器件是降低光传送网成本的关键。 9- 原因 传统的光纤网络中存在大量的光/电、电/光转换节点和数字交叉互联电分插复用器， 1)既限制了网络的交换速度， 2)又对不同形式的光信号是不透明的。 3)光功能器件和波导或光纤的连接需要亚微米的定位精度，精密定位是复杂的调整操作，所以提高了光功能器件的成本，限制了光传送网的发展。 4 )且光/电、电/光器件的微型化也是很难解决的问题。因此，光通信器件的价格和微型化已成为光传送网发展的瓶颈。 目前，微光机电系统技术是解决这一瓶颈问题的有效途径。 10- 优势 1)微机械光学器件可提高光交换速度， 2)而且微机械加工技术可提供高精度的定位，满足光传送网的需求，能大批量生产，成本低 。光纤通信领域是微机械非常有效的适用领域之一。 3)对不同形式的光信号是透明的 4 )易于微型化 11- 可用于全光网络的MEMS器件包括微型光开关阵列、可调衰减器和光滤波器等。对上述技术的研究是MEMS用于光通讯领域的关键。 在全光通信网中，光交换技术的好坏直接决定了传输网的规模、复杂性和灵活性等技术指标。光开关是光交换技术中的核心器件，是影响光交换技术的关键。微机械光开关在开关速度、透明性、功耗和串扰等性能比其它各类光开关具有明显的优点。除此之外，微机械光开关还用于光信息处理系统和光学测量系统，实现光路的转换、切换和光信息处理。在军事领域中，微机械光开关用于核弹、导弹等的引信装置。且因其巨大的商业应用前景，而备受关注。 12- 微机械光开关及其阵列 可调光衰减器 光滤波器/密集解复用器 13- 光衰减器是光强度调节和测量中不可或缺的器件，是在网络中进行动态功率调整的主要器件。 光衰减器分为固定衰减器和可调衰减器两种。一般要求光衰减器体积小、重量轻、衰减精度高、稳定可靠、价格低廉，而这正是MEMS技术具有的特点。 14- 光滤波器/密集解复用器 是构建OXC的重要器件。今天在DWDM系统中使用得最多的是下面三种光滤波器：多层介质膜干涉滤波器、光纤光栅和阵列波导光栅。 15- 多层介质膜干涉滤波器利用镀在玻璃衬底上的多层介电薄膜将某个波长从WDM系统中分离出来或复用进去。可以制成各种窄带、宽带或增益平坦用滤波器，也可以级联成为各种DWDM模块，非常灵活。它是无源器件，可以在相邻或非相邻信道之间提供40dB甚至更高的隔离度，插入损耗和偏振相关损耗很低，可能是多信道DWDM系统最佳的选择之一，也可能是最适合于宽带应用的一种DWDM器