MEMS课件 第二章微传感器1（清华）.pptVIP

微型传感器 传感器：把被测量转换为电信号输出的器件。 微型传感器的历史 早在60年代初，就已开发出了实用半导体应变片 ； 1962年第一个硅微型压力传感器问世 ； 79年已有第一个微硅加速度计； 94年出现了大批量生产的用于汽车防撞气囊的集成微加速度计。 1. 微型压力传感器 定义：利用MEMS技术制作的，把压力信号转换为电信号输出的器件。 微型压力传感器有利用各种工作原理的，如：压阻、电容、压电、真空微电子、隧道效应和光纤等。 1. 1 压阻式微型压力传感器 压阻式压力传感器的基本原理是：将作用在薄膜的被测压力，通过薄膜的应力变化转换成电阻值的变化，再经相应的测量电路测出被测量值。 压阻式微型压力传感器利用半导体材料的压阻效应，即材料受到应力作用时，其电阻或电阻率会发生变化。 压阻式微型压力传感器基本结构 压阻式传感器基本公式 压敏电阻的分布形式 压阻式微型压力传感器的例子（1） 压阻式微型压力传感器的例子（2） 压阻式微型压力传感器的特点 优点：制作工艺简单，检测电路简单，得到最广泛的应用。 缺点： 温度漂移大。 1. 2 电容式微型压力传感器 电容式传感器是将被测量转换成电容量变化的一种传感器，一般将敏感元件做成可变电容器的形式。 可变电容器有变极距型、变面积型和变介电常数型三种基本方式。微型压力传感器一般采用变极距型。 电容式微型压力传感器基本结构 电容式传感器基本公式 电容式微型压力传感器的例子（1） 电容式微型压力传感器的例子（2） 电容式微型压力传感器的特点 优点：稳定性好、灵敏度高、适用温度范围广。 缺点：对电路要求较高，一般需至少把前至放大电路与敏感元件集成于一体。 1. 3 真空微电子微型压力传感器 真空微电子压力传感器利用场发射原理 ； 利用场发射电流对电极间距离十分敏感的特性，实现高灵敏度的传感。 真空微电子微型压力传感器原理结构 真空微电子微型压力传感器的特点 优点：灵敏度高、尺寸小 。 缺点：所需工作电压较高 。 1. 4 集成微型压力传感器 集成传感器是指信号处理电路和敏感元件集成于一体的传感器。 微型压力传感器的应用 汽车：轮胎，供油系统，发动机 工业过程：化工、食品、制药、微电子 能源：油/气田、输油/气管系统、煤气系统 医疗：一次性血压计、内窥镜导管系统 航空航天：飞机安全系统、载人舱、火箭发动机 其它：高度计、真空计等 2. 微型惯性传感器 定义：利用MEMS技术制作的，把加速度、角速度转换为电信号输出的器件，包括加速度计和陀螺。 微型惯性传感器有多种检测原理，如：压阻、电容、压电、真空微电子、隧道效应等。 2. 1 压阻式微型加速度计 压阻式加速度计利用质量块把加速度的变化通过支撑臂的应力变化转换成电阻值的变化，再经相应的测量电路测出被测量值的变化。 压阻式加速度计基本公式 压阻式微型加速度计例 压阻式微型加速度计的特点 优点：制作工艺较简单，检测电路简单，易于获得较大的质量块和高g值； 缺点： 温度稳定性较差。 2. 2 电容式微型加速度计 利用质量块把加速度的变化转换成电容电极间极距的变化，一般采用差分结构。 电容式加速度计基本公式 从制作工艺上，电容式微型加速度计可分为两类：表面工艺微型加速度计和体硅工艺微型加速度计。 电容式微型加速度计例 电容式微型加速度计的特点 优点：稳定性好、灵敏度高、适用温度范围广。 缺点：对电路要求较高。 体硅工艺加速度计能达到高g值量程，其缺点是不便于与电路集成； 表面工艺加速度计制作简便、成本低、适合于与电路集成，但难于实现高g值。 2. 3 隧道效应微型加速度计 在探针电极与检测电极间施加一个偏置电压，当探针与检测电极间的距离非常接近时(nm量级)，它们的表面电子云就有可能重叠，在两者之间施加一个微小电压，电子就会穿过两个电极之间的势垒，形成隧道电流。 隧道电流的基本公式 隧道效应微型加速度计例（1） 隧道效应微型加速度计例（2） 隧道效应微型加速度计的特点 优点：灵敏度高、带宽宽； 缺点：对电路要求较高，需反馈控制。 2. 4 微型振动陀螺 基本工作原理：通过驱动质量块在一方向振动，当有角速度时，将会产生垂直于振动方向和角速度的哥氏力，使质量块产生位移，通过检测位移，求出角速度。 振动陀螺的基本公式 微型振动陀螺例（1） 微型振动陀螺例（2） 微型振动陀螺例（3） 微型振动陀螺例（4） 微型振动环陀螺例（5） 微型振动环陀螺 2. 5 集成微型惯性传感器 六自由度MIMU 微型惯性传感器的应用 汽车：防撞气囊、防抱死、悬挂系统 国防：导弹制导、引信、飞机/卫星的姿控导航 工业：机器人测控、机床减震、电梯控制 防灾：地震监测、桥/坝测震 家电：摄像机、洗衣机、玩具 IT：虚拟现实、三维鼠标 这种传感