MEMS课件 第二章微传感器2（清华）.pptVIP

3. 微型流量传感器 定义：利用MEMS技术制作的，把液体或气体的流量、流速和（或）方向转换为电信号输出的器件。 微型流量传感器按作用原理主要可分为两大类：机械式和热式。 3.1 机械式微型流量传感器 工作原理：流体流动时产生的粘滞力或流道进出口之间的压力差，带动机械结构运动或变形，通过压阻效应或电容变化等，感知流体的流动速度。 其主要结构：一个可动膜或阀片，加上其上的压敏电阻或电容测量感应件。 基于粘滞力的机械式微型流量传感器 基于粘滞力流量传感器的基本公式 平行于流动方向的粘滞力FD： 其中： C——障碍物形状有关的常数， L——障碍物尺寸， v——是流体流速， ?——流体的绝对粘度。 基于粘滞力流量传感器的基本公式 梁在粘滞力的作用下发生形变，产生的表面应力为 ： 其中： Lb——悬臂梁长度 W——根部宽度 T——根部厚度 电阻变化率： 基于粘滞力微型流量传感器例 基于压力差的机械式微型流量传感器 基于压力差流量传感器的基本公式 因压力差，流体对靶片的作用力FP： 其中： K——比例常数， ? ——流体密度， S ——靶片面积。 基于压力差微型流量传感器例 机械式微型流量传感器的特点 优点：能适应于气体和液体，可采用现有的微型压力、加速度传感器的检测电路。 缺点： 结构较复杂，在流体中结构容易发生堵塞或损坏。 3.2 热式微型流量传感器 工作原理：流体流动时会把热源的热量带走，或把热量从上游带到下游，利用加热元件和测温元件，通过测量带走或带来的热的情况，得到流体流动的速度和（或）方向。 其主要构件：一个加热元件和二个测温元件。 测温元件有：热敏电阻、晶体管和热电偶等。 热线式（ Hot-wire）的微流量传感器 向加热元件施加一定的热功率，加热元件周围形成温度场，流体流动使温度场发生变化，分别位于上下游的检测元件之间就会产生温差。被测流体的质流量Qm与加热件上下游端的温度差?T之间的关系为： 其中： P——加热功率， J——热功当量， cp——被测流体的定压比热 其测量有恒定功率式和恒定温差式。 热飞行时间式（Thermo transit time）微流量传感器 向加热元件施加一定频率的方波，在流体中产生方形热脉冲，这个热脉冲序列沿流体流动方向传递。由测量元件和参考元件之间的温差可检测出热脉冲。流速v的表达式： 其中： l——加热元件与热敏元件间的距离 t——热的传播时间 热式微型流量传感器例 热式微型流量传感器的特点 优点：尺寸小，响应快 ，灵敏度高。 缺点： 功耗较大，特别是用于液体时。 热飞行时间式与热线式相比，测量精度更高、线性度更好、功耗更小，还可只用一个检测元件。 微型流量传感器的应用 工业过程：化工、食品、制药、微电子 生物医疗：微量定量供药/供液控制 环境：风速、风向测量 科学研究：风洞测量 热对流式微型加速度计 利用热线式流量传感器的原理，通过测量加速度使封闭腔内热对流气体流动场的变化，获取加速度。 结构简单，无可动部件。 4. 微型磁强计 定义：利用MEMS技术制作的，把磁场强度和方向信号转换为电信号输出的器件。 微型磁强计按工作原理主要可分为两大类：电磁效应式和机械式。 4.1 微型磁通门式磁强计 磁通门式磁强计由绕向相反的一对激励线圈和检测线圈组成。磁芯工作在饱和状态。 当被测磁场为零时，在激励线圈中通入正弦交变电流，由于两个磁芯上的线圈绕向相反，两个磁芯中的磁通量大小相等，方向相反，因此，在测量线圈中无电压产生。当被测磁场不为零时，磁场叠加的结果，使两个磁芯中的磁场对称性遭到破坏，在测量线圈产生感应电势 。 微型磁通门式磁强计例（1） 微型磁通门式磁强计例（2） 4.2 机械式微型磁强计 布有线圈或永磁体的微梁在磁场中受力变形或运动，通过测量该变形或运动，获取磁强信息。 测量方式有：压阻式、电容式、隧道效应式等。 谐振式微型磁强计例（1） 谐振式微型磁强计例（2） 隧道效应磁强计例 微型磁强计的应用 安全：安全检测、交通车辆检测 医疗：核磁共振仪器、导管定位测量 工业：机器人位置测量、转速编码器 国防：探雷、导航、战场侦察 其它：地质勘探 5. 微型生化学传感器 利用敏感材料吸收特定化学或生物物质时，其特性如：重量、熱、电阻率等发生变化，通过测量这种变化，获取特定化学或生物物质