一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ２ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ ４ Ａ ｒ．２００５ 　　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００５０２０１７１０８ 　 一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制 节德刚，刘延杰，孙立宁，孙绍云，蔡鹤皋 （哈尔滨工业大学 机器人研究所，黑龙江 哈尔滨 １５０００１） 摘要：提出一种宏微双重驱动精密定位机构，采用高性能直线电机直接驱动宏动平台，实现系统大行程 微米级精度定位；安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台，实现纳米级的分辨率和定位精度，以高 频响动态补偿系统的定位误差；采用精密光栅尺反馈微动平台输出端的位置信号，实现定位机构的全闭 环反馈控制。在分别建立宏动、微动、宏微机构模型的基础上，提出复合型宏动控制和模糊自校正 ＰＩＤ 微动控制的宏微控制策略。实验研究表明：系统的动态和稳态性能良好，该定位机构的最大工作行程 １００ｍｍ，稳定时间小于４０ｍｓ，重复定位精度 １０ｎｍ。 关 键 词：宏微双重驱动；精密定位；建模；控制策略 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＰ２４２ Ａ 　　 犕狅犱犲犾犻狀 犪狀犱犮狅狀狋狉狅犾狅犳犪犿犪犮狉狅犿犻犮狉狅犱狌犪犾犱狉犻狏犲 犵 狌犾狋狉犪狉犲犮犻狊犻狅狀 狅狊犻狋犻狅狀犻狀 犿犲犮犺犪狀犻狊犿 狆 狆 犵 ， ， ， ， ＪＩＥＤｅａｎ ＬＩＵＹａｎｉｅ ＳＵＮＬｉｎｉｎ ＳＵＮＳｈａｏｕｎ ＣＡＩＨｅａｏ ｇ ｇ ｊ ｇ ｙ ｇ （ ， ， ） 犚狅犫狅狋犚犲狊犲犪狉犮犺犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犎犪狉犫犻狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犎犪狉犫犻狀１５０００１犆犺犻狀犪 犳 犳 犵狔 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋 Ａｍａｃｒｏｍｉｃｒｏｄｕａｌｄｒｉｖｅｕｌｔｒａｒｅｃｉｓｉｏｎ ｏｓｉｔｉｏｎｉｎ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｉｓ ｒｅｓｅｎｔｅｄ．Ｃｏｍｂｉｎｉｎ ｐ ｐ ｇ ｐ ｇ ， ｍａｃｒｏｗｉｔｈｍｉｃｒｏａｃｔｕａｔｏｒ ａｓｓｔｅｍｗｉｔｈｌａｒｅｗｏｒｋｓａｃｅａｎｄｈｉｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｏｆｍｏｔｉｏｎｗａｓｄｅｖｅｌ ｙ ｇ ｐ ｇ