涵盖如下几方面.PDF

涵盖如下几方面：  光是什么？  ……  光有哪些特性？  ……  偏振及其产生方法？  ……  光的衍射  ……  光的干涉产生  …… 刘 东 浙江大学 光学工程研究所 玉泉教三231室 liudongopt@ / 688748 • 干涉仪 –利用光的干涉原理对各种参数进行精密测量的 仪器 –早期用普通光源：受光源谱线宽度的限制(Kr86 相干长度约700mm) –迈氏干涉仪、干涉显微镜、乌氏干涉仪等 • 激光干涉仪 –激光器件及技术与干涉仪相结合的仪器 –用激光作为光源：方向性、单色性、能量密度 →相干长度、条纹对比度、信噪比 –数字波面干涉仪、激光测长仪、激光测振仪等 • 干涉仪系统的基本组成 –光源及照明系统、干涉体系、观察系统或光电 接收系统、信号处理系统 精密干涉传感技术与应用 liudongopt@ • 干涉仪的应用——根据光强的变化进行测量 2 I I I 2 I I cos   (n L n L ) 1 2 1 2 1 1 2 2  • 可直接检测的量 –折射率、长度…… • 可间接检测的量 –几何量：角度、面形(平面度、平直度、球度等）、粗糙度、膜 层厚度等。 –物理量：振动、速度、加速度、力、应变、温度、光谱等等。 几乎所有几何量和物理量的精密测试都可以用 干涉仪实现。 精密干涉传感技术与应用 liudongopt@ • 牛顿干涉仪 –偏差h？ r 2 (R h)2 R2 n 2 2 2 r R -(R h) n =(R R h)(R R h) =(2R h)h h  r 2 /(2R) n –干涉条纹形状？ 半波损失： –圆条纹or直条纹or弯条纹？ 光疏→光密时，反射光有π相位跳 –中心区域是明条纹or暗条纹？ 变，相当于λ/2的光程突变 I I I 2 I I cos  1 2 1 2 精密干涉传感技术与应用 liudongopt@ • 牛顿干涉仪 –检验透镜 –条纹数量 •VS波前误差 每条条纹代表的曲率半径误差