三工位真空炉---青岛育豪微电子设备有限公司.pptVIP

青岛育豪微电子设备有限公司 三工位真空炉 用 途 真空炉的特点 关键件全部采用进口件，具有高可靠性 ◆ 具有可编程的升、降温功能 ◆ 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 ◆ 具有高抗干扰能力 ◆ 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置 主要技术指标 * * 新一代管式真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺? ★口径：Φ350mm???????? ★工作方式：共用一套加热体，A、B、C管交替工作★工作温度：300-1000℃???? ★恒温区1000mm±3℃★冷态真空度：5Χ10-4Pa??????? ★真空系统：机械泵+K300扩散泵★阀门：Φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热???????? ★功率：47KW ★真空计：复合数字表?????? ★充气种类：N2、氩气、H2 ★控制系统全自动、手动?