RG-2011-ES-004刻蚀机作业指导书.doc

刻蚀机作业指导书 编 制： 审 核： 批 准： 文件批号： 高平市融高太阳能开发有限公司 作业指导书 目的 本。本规定适用于。⑴在工艺开始前设定好功率值、流量值以及各步的时间，以后只要刻蚀硅片的薄厚不变，各参数值不需从新设置。如果想改变某些工艺参数，如压力，流量和功率值，则必须按上述步骤从新调整后才能进行自动工艺。 ⑵手动操作只限用于设备的调试和维修，工艺过程在自动状态下完成。在自动状态下，只需按下运行按钮即可执行整个工艺过程，待有蜂鸣声提示时，关闭运行按钮，整个过程操作简单、方便。 ⑶开机前，首先将电源和气源打开；关机前，先关气源，将反应室抽成真空状态后再关电源。 ⑷工艺控制器的各个参数一经调好，不得轻易改变，否则将造成工艺不稳定，控制不准确。 ⑸在刻蚀完成后，有蜂鸣器提示，可开盖取片。整个工艺流程框图如下： 开机，打开控制箱内的电源开关，然后按下控制面板上的电源开关，此时电源开关上的电源指示灯亮。表示设备已经通上电。显示开机画面。画面中有，监控界面，设定界面，报警界面，历史记录和手动界面，真空泵开关状态等 六个按钮。 2.手动界面 包括：预抽，辉光，主抽，清洗，送气，充气，马达，手动开度，功率，压力，开度四氟化碳和氧气流量状态的按钮。作用有： 1 预抽，主抽，送气，马达，辉光、清洗，充气在手动时的启动和停止； 2 显示当前手动工作状况； 3 显示功率当前值，压力当前值，氧气当前值，四氟化碳当前值和开度为0. 5 退回主界面 6 此界面只在选择手动才可以操作，选择自动时操作无效。 3.监控界面 包括：设定压力，实际压力，四氟化碳设定流量和实际流量，氧气设定流量和实际流量，设定功率和实际功率开度显示。 作用： 1 选择自动时显示压力，氧气，四氟化碳，功率，开度的当前值和设定 2 显示当前动作位置和动作时间 3 滚动式显示报警内容 4 切换报警界面和返回主界面 5 按下手动开度按钮显示当前开度，当前开度时自动调谐的结果，当安装自动按钮时，开度变为手动开度，按加按钮则加1，一直按则连续加，直到开度为100时停止，按减按钮则减1 一直按则连续减，直到零为止。 如需手动开度，则按下自动开度按钮，显示为手动开度再选择至理想的开度，再点击关闭窗口，则为手动开度’；如果点击手动开度显示自动开度或点击退出则为自动开度，返回到自动调谐。 4.设定画面 包括： 显示当前状态，输入密码处，至设定画面，和返回主界面等功能，点击输入密码框内的任意位置输入密码，出厂密码为000输入密码后按确认键，显示为“请进入”进入设定画面，有两个功能：工艺设定和时间设定，还可以修改密码。 时间设定界面包括：预抽，主抽，送气，辉光，抽空，清洗，第二次预抽，第二次主抽和充气等数值框。可以设定以上框内的值。出厂设定为，预抽120秒，主抽120 ，送气150，辉光750，清洗60，充气60秒。 5.工艺设定界面： 包括：压力，功率，四氟化碳和氧气的设定值，并且显示了四氟化碳和氧气的报警范围和报警时间。作用：设定压力，功率，四氟化碳和氧气的设定值： 压力：设定范围0-999 单位 帕 功率：设定范围 0-999 单位 瓦 四氟化碳：设定范围 0-999 单位 毫升 氧气：设定范围 0-99 单位 毫升 6. 注意事项 1.累计工作720小时后，旋转安装石英管，每次旋转约60度。累计旋转180度后可将石英管倒置，再次进行旋转操作，以延长石英管使用寿命。 2.电感线圈接线位置不得随意改变，需要时有专业人员进行。 3.保持机械泵油的清洁，在换油周期内换油，在维护周期内清洗泵体。 4.定期清洁处理过滤器器心。 5.工作结束前，先关闭气源，用“手动”将反应室抽成真空状态后再关机。 6.每天工作开始，可以“手动”走几个流程（每步工艺时间缩短）“热机”，以提高设备的稳定性。 刻蚀机作业指导书 文件编号: 装片 运行开 预抽 尾气 主抽 送气稀释 清洗 冲气 运行关 取片 高压辉光