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2018-11-16 发布于天津
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成大微奈米科技研究中心机台设备与费用列表

成大微奈米科技研究中心機台設備與費用列表備註：若需使用本中心儀器，需先通過安全講習課程，安全講習課程費率為 300 元/3 小時更新日期：2014/1/22 ★奈米微影製程自行操作費用代工費用（元）／小時設備名稱課程費用元／小時學界業界優惠價：13000 優惠價：1800 優惠價：2000 優惠價：3000 E-Beam Lithography system 電子束微影系統元(原價 66000 (原價：4000) (原價：5500) (原價：9000) 元) UV Imprinter 光罩對準曝光機(雙面對準/UV 光感成奈米壓印) 1800 元 600 1575 2625 UV-Curing Nanoimprinter 紫外線固化式奈米壓印機 1100 元 550 2250 3750 微影 Lithography UV-Curing Roller Nanoimprinter 紫外線固化式奈米滾印機 1100 元 350 1725 2875 Single Side Mask Aligner 單面光罩對準機 1700 元 700 1725 2875 Double Side Mask Aligner 雙面光罩對準機 1700 元 850 1950 3250 CO2 Laser Micro-Machining System 二氧化碳雷射雕刻系統 1100 元 450 1425 2375 Spin Coater 旋轉塗佈機 550 元