精密XY平台-THK.PDFVIP

精密XY平台 可對應各種用途 高精度 多種型號 AX/DX/EX CATALOG No.124-7T Contents ▼ 精密XY平台AX 結構與特長 P.2 高精度平台的精度評價方法與系統 P.3 一軸平台∕XY平台重量及精度表 P.5 一軸平台標準規格 P.7 XY平台標準規格 P.9 一軸平台帶伸縮防塵套 P.11 XY平台帶伸縮防塵套 P.13 馬達規格 P.15 ▼ XY平台DX 結構與特長 P.19 ▼ XY平台EX 結構與特長 P.21 11 精密XY平台 AX 驅動馬達 LM導軌 SR型 精密滾珠螺桿DIF (BIF) 型 AX型 結構圖 結構與特長 ● 高精度 ● 組合型 精密XY平台AX型使用經過精密研磨的剖面高度低的 不是使用歷來專用中座的XY組合，而是通過一軸平台 LM導軌SR型，通過多重限制結構取得高精度引導。 的組合可以自由地選擇行程。 ● 長期保持高精度 ● 可以根據用途選擇平台精度 引導部分使用具有高度可信性的LM導軌，能夠長期保 AX型工作台可以相應各種用途選擇3種工作台精度。 持精度。並且送進螺桿使用精密滾珠螺桿，能夠無空 隙地正確定位。 ● 多種型號 作為標準產品備有50mm到500mm行程的型號。並且 還備有伸縮防塵套型。 ※也對應特殊規格，請向THK詢問。 2 高精度平台的精度評價方法與系統 １. 反復定位精度 ３. 無效行程 返回 無效行程 送進螺桿送進 負荷位移 (含彈性位移) ←負載 的最大差的1/2 在任意一點從相同方向反復進行7次定位，測量停止位置，求 對工作台施加推力，以稍微活動時千分錶的值為基準，在該狀 所得最大差的1/2。原則上在移動距離的中央以及兩端的各個 態下不靠送進裝置，從相同方向對工作台施加負載，以其後解 位置上進行測量，以所得值之中最大的為測量值，在最大差的 放時的基準與返回之間的差為測量值 。 1/2上加±符號表示。 在動作的中央及兩端的各個位置進行該測量，以所得值中最大 的值為測量值。 2. 定位精度 ４. 行走真直度 A (誤差)