超精密机床垂向有源隔振系统的实验研究.pdfVIP

维普资讯 设计与研究 超精密机床垂向有源隔振系统的实验研究 张明明 李 旦 董 申 盖玉先 (哈尔滨工业大学) 摘要 分析了有泺和无源两种隔振方式理论，建立了超精密机床垂直方向有源隔振系统。通过实验证明引 入有潭控制后，隔振台对环境干扰主振动的隔离有所增强；隔振台低频振动情况得到一定程度的改善，有效隔振 范禹为3--5Hz；工件加工表面质量有所提高。 关键词 超精密机床 有环隔振 无源隔振系统模型如图 1a所示，由牛顿第二定律 1 前言 有 在超精密加工过程中，环境振动对加工精度和表 + ( 一Y)+k( — )=0 (1) 面质量有较大的影响。环境振动的干扰，不仅会引起 式中．z、 、z为隔振台振动位移、速度、加速度；Y、Y 机床本体的振动，而且更重要的是会引起切削刀具与 分别为环境振动位移、速度。 被加工零件间的位置变化，后者将直接反映到被加工 由式(1)可以得到无源隔振系统的绝对传递系数 零件的加工表面质量上。因此必须设置性能优异的隔 T 为 振装置。隔振分为无源隔振和有源隔振，其等效模型 如图1所示。 T = 1 (2) 式中，为固有频率， √；e为阻尼比，e 上 2riga^。 霪孽 由式(2)讨论： (1)当n．《 时，T无l≈1； 圈 1 隔摄方式等效梗型 (1)无源隔振，如图 1a。这种隔振方式不需要系 (2)当 ： 时，Tx： 1； 统以外的能源装置支持隔振装置工作。传统的隔振一 般都是采用具有一定刚度 k和阻尼e的隔振元件的无 (3)当 》 时，Tz= 1。 源隔振。 · 2．2 有源隔振 (2)有源隔振，如图 1b。这种隔振方式需要系统 有源隔振系统如图1b所示 ，取反馈控制力F= 以外的能镧i装置支持隔振装置工作。其原理是通过传 一 kz，则由牛顿第二定律有 感器将所要消除的振动信号精确地检测出来，然后经 F= + (z 一Y)+k(z—Y) (3) 过反馈系统将所测信号进行一定处理，输出反馈量k 仿照式 (2)推导过程，得有源隔振系统绝对传递系数 并去控制执行机构，使所产生的激振力F抵消振动干 磊 扰，达到消除振动的目的。 本文在哈尔滨工业大学研制的以空气弹簧作为隔 T宥 z(埘) 振元件的超精密机床上进行有源隔振实验研究。 Y() (4) 2 隔振理论分析 2．1 无尊啊振