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现代干式无油真空泵 主讲人：巴德纯 教授 东北大学 1.真空获得设备的概况 目前真空系统中存在的问题 现代工业对真空获得的要求 国外干式真空泵的发展状况 干式真空泵的性能与特点 2.干式真空泵的现状 往复式干泵 爪式干泵 涡旋干泵 多级罗茨式干泵 螺杆式干泵 涡轮式干泵 分子泵 3.干式泵今后的发展 真空行业的产品更新换代势在必行 老产品的性能经过不断改善后仍能占据一定的市场份额 1.1 问题的提出 多年来工业上应用的高真空系统，常以油扩散泵为主泵、油封机械泵为前级泵组成通用型高真空系统，即所谓湿式真空系统。对这种系统的真空泵，明确指出它不适于抽除含O2过高的、有爆炸性的、有腐蚀性的、对泵油起化学反应的以及会有颗粒尘埃的气体。为什么对被抽气体有这些限制呢？往往是泵内有油造成的。 1.2 现代工业对真空获得的要求 半导体工业发展刺激干泵的发展 半导体工业需要清洁的环境 半导体工厂布局 生产车间中的真空获得设备 生产设备需要清洁真空 1.3国外干式真空泵的发展状况 1984年日本半导体工业发展迅速，急需大量的干泵，开始研制出了一种适于半导体工业应用的干式真空泵。它是将罗茨转子多级串联组成的多级干式泵。德国、英国、法国和美国等真空企业也相继出现了各具特点的这种干式真空泵，有的还用电脑控制，满足了半导体和化学工业发展的需要。 1.4干式真空泵的性能与特点 2.干式真空泵的现状 当前国外市场各干式泵生产厂家销售的情况： Edwards (英) 45％ Ebara (日) 25％ Kashiama 13% Leybold (德) 7％ Alcatel (法) 7％ Stokes (美) 2％ 其它 1％ 干式泵在各类真空泵的市场份额中占23％，年增长率13.5％。 干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等。干式泵在几个主要应用领域中所占的比例还不大，约占15％左右，例如： 半导体：13.7％（日本100％用干泵，欧美45％用干泵） 化工：15％（代替其它泵） 镀膜：15％（代替其它泵） 仪器：12％（代替其它泵） 2.1往复式干泵 美国Varian公司生产有DVP系列3级无油真空泵。 VRC的双级干式真空泵，极限压力20～700 mTorr(双缸并联抽速280 l/min；极限压力700 mTorr；双缸串联抽速140 l/min极限压力20 mTorr) 可用于抽除：He,H2,Ar和N2所有气体，它可作涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵用。 这种泵类似于汽车发动机的机构原理。最高压缩比可达到105。用空气冷却。 活塞及气缸壁上涂以减磨涂料，降低功率消耗。 2.2爪式干泵 德国莱宝公司生产一种四级全是爪型转子的多级干式泵。这种泵的抽速100 m3/h（28 l/s），极限压强8×10-3 mbar，噪音68 dB(A)，马达3 kw，转速3000 rpm，泵重180 Kg。这种泵设有控制单元。为了提高抽速和极限真空，泵入口可串联一级罗茨泵。 英国爱德华公司生产一种利用罗茨转子与爪型转子组合的一种干式泵。它利用了在低压下罗茨泵抽气比较有效，在较高压强下爪式泵抽气比较有效的特点，将这两种泵各自的优势匹配起来组成的干式泵，其结果性能比较优良。 英国和德国产的这两种泵性能有些不同。英国泵在20 Pa时有最大抽速，而德国泵在300 Pa时才有最大抽速。这种泵价格虽贵，但附件齐全。 我国北京、上海一些工厂也生产过四级爪型泵。也有单级和双级的产品。 这种爪型泵泵温较高适于半导体工艺。 德国的四级泵第2～4级都有单独掺气口各设气体流量计，分别按需控制各级的流量，节约惰性气体。 2.3 涡旋干泵 它可以代替油封机械泵实现无油清洁真空。一般多用在分析仪器、PVD系统、检漏仪系统、涡轮分子泵和离子泵的预抽泵或前级泵。 这种泵采用双腔式的，动作非常平稳，结构简单，振动、噪音很低。吸气、压缩和排气能连续均匀地进行，驱动力矩变化小，维修也方便，泵体、转子多为铝合金制造，其表面涂以耐蚀性材料。 日本生产的泵用双腔并联的单头的涡旋体抽气，而美国Varian生产的泵为双腔串联式三头涡旋体，一个腔用于抽气，另一个腔用于压缩。 美国Varian生产这种泵是由涡旋压缩机引入真空泵的，目前出现不少专利产品。 日本岩田公司生产有ISP，VSL,DVSL系列产品，抽速4～8 l/s，转速1460 rmp,噪音56～60 dB(A)。 如能很好解决转子的涡旋型线的加工精度和端面的密封等关键技术问题，这种小型干式泵还是有应用前景的。 2.4多级罗茨式干泵 这种