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第三章 PLASAM介绍(?3? PLASAM??) 3.1 什么是PLASAM(???PLASAM???) 3.2 PLASAM的产生(PLASAM? ?? ) 3.3 PLASAM的基本电特性(PLASAM? ?? ????) 3.4 PLASAM在TFT制造中的应用 3.4 PLASAM?TFT??????? ?? 3.1什么是PLASAM？ 图3-1 物质的四态 广义上，等离子体可定义为：带正电的粒子与带负电的粒子具有几乎相同的密度，整体呈电中性状态的粒子集合体。按电离程度，等离子体可分为部分电离及弱电离等离子体和完全电离等离子体两大类。前者气体中大部分为中性粒子，只有部分或极少量中性粒子被电离；后者气体中几乎所有中性粒子都被电离，而呈离子态、电子态，带电粒子密度1010～1015个/cm3。在薄膜技术中，所利用的几乎都是部分电离及弱电离等离子体，在这种等离子体中，只要电离度达到1％，其导电率就与完全电离等离子体相同。 在等离子体中，除了离子、电子之外，还有处于激发状态的原子、分子，以及由分子解离而形成的活性基。此外，被激发原子和分子等在返回基态的过程中，会产生原子所固有的发光。同时，在等离子体中或反应器壁面上，也不断发生着离子与电子间的复合。等离子体处于上述电离与复合的平衡状态。 与常态的物质相比，等离子体处于高温、高能量、高活性状态。 薄膜技术中所用的等离