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中石化三分量检波器研制成功 国产MEMS加速度传感器发挥核心作用 1 高通投资动作感应MEMS产品供应商InvenSense 1 美国Microvision发布超小型投影仪样机 采用MEMS和激光光源 2 MEMS陀螺成功应用于Draper惯性星光姿态确定系统 2 Akustica将扩充产品类型至RF和惯性器件 2 MEMSCAP领衔开发生物传感器项目 3 MEMS Tech两款新产品将分别销往美国和中国 3 MEMS专用润滑剂即将问世 3 Suss键合机出货NanoFab 4 ISSYS选择OAI双面对准光刻机 4 XCOM与IMT合作生产RF MEMS 4 Discera选择TecStar作为分销商 4 中石化三分量检波器研制成功 国产MEMS加速度传感器发挥核心作用 出自：SEMI 编辑： 中油网消息：中国石化石油勘探开发研究院南京石油物探研究所与中科院上海微系统所紧密合作经过一年多的努力，目前试制成功以国产MEMS加速度传感器为核心的三分量地震勘探检波器。经过室内检测，该仪器各项性能指标均符合设计要求。 上海微系统所承担的国家863计划项目“面向典型行业的MEMS加速度传感器应用研究”，是用国产的MEMS加速度传感器制造而成的地震勘探数字检波器。最近，南京石油物探研究所在四川达州进行了三分量检波器的野外试验。通过试验，对获取的数据进行了分析，对发现的问题给予了纠正。