レーザー表面处理-最新レーザ技术研究センター.pdf

レーザー表面処理 沓名 宗春 （光産業創成大学院大学 特任教 授） 重要なポイント • ■レーザー表面処理の分類法の理解 • ■各種レーザー表面処理の原理と特色を理 解する。 • ■従来の処理方法と比べて どのように違う か理解する。 • ■今後 どのように プロセスを改善・提案す ると面白いか？ 検討する。 自動車エンジン部品のレーザ焼入れ 鋳鉄の焼入れの組織 シャフトのレーザ焼入れ 日産自動車、1988 Laser hardening of crank shaft for car 焼入れ部の硬さ分布 Hardness Distance from surface レーザ焼入れ部の最大硬さ 表面処理に用いる加工光学系 Laser hardening of clutch dram リモート溶接 加工光学系 レーザーアニーリング • 半導体素子のSiやGeにAsやB又はPをイオン注入すると， 表面層に非結晶層や転位ループが生じ，電気的特性上問 題となる．そこで，これらを均一に結晶化し，転位を少なくす ることをアニーリングと呼んでいる．図4にエキシマレーザー （波長308nm）でアニーリングしたときのB （ボロン）濃度の変 化を示す．アニーリングにより結晶化が促進され，欠陥クラ スタや転位ループも減少する[3]．超電導材料のNb3Al及び Nb3(Al,Ge)でテープを作成するために焼結されたこれらの 材料を0.3～4kWのCO2レーザーで照射することにより，微 細な組織を得て，遷移温度が18.6K及び20.1Kを得た．この とき，アニーリングは650～800℃で100時間なされた[４]． レーザー溶体化処理（脱鋭敏化処理） • 益本[6]および中尾ら[7]はオーステナイト系ステン レス鋼溶接継手の熱影響部のクロム炭化物の粒 界析出による耐食性の低下を回復させるレー ザー溶体化処理（脱鋭敏化処理）について報告し ている．劣化部分を1,050℃以上に数10秒間加熱 すると炭化物のマトリックスへの固溶が生じ，図5 に示すように耐食性の向上が見られる[4]． レーザによる脱鋭敏化処理 Laser solution treatment レーザー曲げ・成形加工 鋼管のレーザ変形 名古屋大学 レーザ曲げ加工 金属板がレーザ光 でなぜまがるのか？ 電灯で照らしても曲 がらないのに？ 金属は高温で曲がり やすくなる。. 鋼種により違うレーザ曲げ加工量 Prediction of bending angle レーザフォーミング（成形） パイプの曲げ加工 １．２ 溶融プロセス （１）レーザー合金化 ビームのエネルギー密度が非常に高いという特徴を生かし， レーザーを用いた表面処理の一つであるレーザー合金化が ある。この研究は1964年に米国MITの修士論文「表面合金 化のためのレーザーの利用」（F. E. Cunningham著）に始 まり，その後，各種金属の表面に新しい合金層を作る表面 改質技術として多くの研究がなされてきた．合金層としては， 固溶体のみならず化合物・析出物，また過飽和固溶体，非 平衡相などの相が期待でき，レーザー合金化として，今まで に炭化，窒化，BN化，高Cr化，高Ni化，高W化，高Mn化， 複合合金化（例えば，高Cr-Ni化）など表面への各種合金元 素の富化や化合物生成が検討されてきた。 合金化の研究例 レーザ合金化 Beam rotating device for Surface processing 表面の浸炭処理 レーザ浸炭部の摩耗試験結果 アルミ合金の合金化