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- 2018-04-08 发布于天津
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微振用减振平台之模拟分析及实测研究-台北科技大学
第四屆精密機械與製造技術研討會論文集- 2006
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The 4 Conference on Precision Machinery and Manufacturing Technology -PMMT 2006
微振用減振平台之模擬分析及實測研究
1 2
黎文龍 莊明治
1
台北科技大學自動化所教授
2
台北科技大學自動化所研究生
導體產業永續發展重要關鍵,目前之技術層次朝向更
摘要
小更薄45 nm以下發展,也是台灣高科技產業維繫競
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