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微振用减振平台之模拟分析及实测研究-台北科技大学.pdf

微振用减振平台之模拟分析及实测研究-台北科技大学

第四屆精密機械與製造技術研討會論文集- 2006 th The 4 Conference on Precision Machinery and Manufacturing Technology -PMMT 2006 微振用減振平台之模擬分析及實測研究 1 2 黎文龍 莊明治 1 台北科技大學自動化所教授 2 台北科技大學自動化所研究生 導體產業永續發展重要關鍵,目前之技術層次朝向更 摘要 小更薄45 nm以下發展,也是台灣高科技產業維繫競 本文目標是以減振平台來減低半導體、TFT

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