《第6章电感式传感器》.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 6.3 电涡流式传感器 由法拉第电磁感应原理可知：一个块状金属导 体置于变化的磁场中或在磁场中作用切割磁力 线运动时，导体内部会产生一圈圈闭和的电流， 这种电流叫电涡流，这种现象叫做电涡流效应。 根据电涡流效应制作的传感器称电涡流传感器; 电涡流传感器能够对被测量进行非接触测量; 形成电涡流必须具备两个条件： ① 存在交变磁场 ② 导电体处于交变磁场中 第6章 电感式传感器 6. 3 电涡流式传感器 6.3.1 工作原理 把一个扁平线圈置于金属导体附近，当线圈中通以交变电流I1时，线圈周围空间产生交变磁场H1，当金属导体靠近交变磁场中时，导体内部就会产生涡流I2，这个涡流同样产生反抗H1的交变磁场H2 。 第6章 电感式传感器 4. 3 电涡流式传感 4.3.2 等效电路分析 根据涡流的分布，可以把涡流所在范围近似看成一个单匝短路次级线圈。当线圈靠近金属导体时，次级线圈通过互感 M 对初级作用。 第4章? 电感式传感器 等效电路的两个回路方程（基尔霍夫第二定律）： 4. 3 电涡流式传感器 4.3.2 等效电路分析 等效电感为： 第4章? 电感式传感器 解方程得到传感器的等效阻抗 等效电阻为： 4. 3 电涡流式传感器 4.3.2 等效电路分析 结论： 凡是能引起 R2、L2 、 M变化 的物理量均可以引起传 感器线圈R1 、 L1的变化。 第4章? 电感式传感器 R2 L2 M L1 R1 X ω μ ρ d 6. 3 电涡流式传感器 6.3.2 等效电路分析 结论： 被测体（金属）的电阻率ρ、导磁率μ、厚度d、 线圈与被测体间的距离X、激励线圈的角频率ω等都通过涡流效应和磁效应与线圈阻抗Z发生关系。 ρ 、μ、d、X、ω的变化使R1、L1发生变化， 若控制某些参数不变，只改变其中一个参数， 可使阻抗 Z 成为这个参数的单值函数。 第6章 电感式传感器 等效阻抗与这些参数有函数关系： 6. 3 电涡流式传感器 6.3.3 涡流的分布和强度 涡流的分布： 因为金属存在趋肤效应，电涡流只存在于金属导体的表面薄层内,存在一个涡流区，实际上涡流的分布是不均匀的。涡流区内各处的涡流密度不同，存在径向分布和轴向分布。 第6章 电感式传感器 金属 扁平线圈 涡流区 r/ros 1 h ros j 6. 3 电涡流式传感器 6.3.3 涡流的分布和强度 径向分布： 涡流范围与涡流线圈外径有一固定比例关系， 线圈外径确定后涡流范围也就确定了。 线圈外径处，r = ros 金属涡流密度最大； 线圈中心处，r = 0 涡流密度为零(j=0)； r 0.4ros处（以内）基本没有涡流； r = 1.8ros线圈外径处涡流密度衰减到最大值的5%。 涡流密度最大值在线圈外径附近一个狭窄区域内 第6章 电感式传感器 6. 3 电涡流式传感器 6.3.3 涡流的分布和强度 第6章 电感式传感器 轴向分布： 由于趋肤效应涡流只在表面薄层存在，沿磁场H方向（轴向）也是分布不均匀的。 jz jo/e h z jo h --- 趋肤深度 --- 金属表面涡流密度 距离金属表面Z处涡流按指数规律衰减： 6. 3 电涡流式传感器 6.3.3 涡流的分布和强度 强度：当线圈与被测体距离改变时，电涡流密度 发生变化强度也要变化。金属导体表面的电涡流强 度I2 与距离X是非线性关系，随 x/r上升而下降。 第6章 电感式传感器 I2只有在x/r1才能有较好线性和灵敏度。 X/ros I2/I1 1.0 1 2 3 4 6. 3 电涡流式传感器 6.3.4 测量电路 第6章 电感式传感器 ①调幅式 L为电涡流线圈 L～x → U～ x 6. 3 电涡流式传感器 6.3.4 测量电路 第6章 电感式传感器 ②调频式 调频法是以LC振谐回路的频率作为输出量，直 用频率计测量；或通过测量LC回路等效电感L， 间接测量频率变化量。 6. 3 电涡流式传感器 6.3.5 电涡流传感器的应用 电涡流传感器目前主要应用于测位移、振动、 转速、测厚度、测材料、测温度、电涡流探伤。 特点：做非接触式测量。 应用 （1）测厚 ：低频透射式涡流厚度传感器 高频反射式涡流厚度传感器 （2）测转速 （3）测振动 （4）电涡流探伤 第6章 电感式传感器 6. 3 电涡流式传