微电子行业CDA干燥机选择.pptVIP

显示屏和微电子制造业压缩空气干燥机选用和评价原则 微电子和显示屏制造业对CDA的特殊要求： 1）绝对无油的压缩空气 2）极低露点(-70C)的压缩空气 3）过滤精度0.01微米或更佳 4）最大限度节能和降低成本 Why How？ 绝对无油的压缩空气： 油氛对芯片、基板的污染，造成芯片或基板的报废 油氛对管道和设备造成的污染，难以清除，导致长时间的停产检修。 曾有实例：油氛污染管道后，造成全部管道重新拆除、清洗、重新安装，耗时3个月，以及巨大的费用 因此，整个系统压缩空气系统，包括干燥机所使用的阀门、管道、塔体，都必须是oil-free的洁净系统。甚至于空压机房的环境都必须洁净无油。 无油阀门，如何润滑和密封？如何保证寿命？挑战极限！ 洁净系统，对干燥机制造商的生产环境是有严格要求的，脏、乱、差的工厂造不出洁净的干燥机。 脏、乱、差的工地，安装不出洁净系统！ 脏、乱、差的的工厂没法在电子行业生存！ 极低露点的压缩空气 -70°C 压力露点，是微电子行业CDA的普遍标准。 压缩空气与产品接触，含水量高将导致产品质量下降、寿命缩短，甚至报废。 在7公斤工作压力、25C环境温度条件下： -70°C 压力露点 ＝ 空气含水率0.002 g/M3 ＝ 0.36 ppmv 目前只有吸附干燥技术，能够经济地达到这样低的湿度。 40C、7公斤的压缩空气的饱和含水量是：52g/M3 52/0.002 ＝26000倍！ 要能够长期可靠地保证压缩空气的露点，不是一件容易的事情！ Why How？ Why How？ 极低露点的压缩空气，实现方法，两大类： 1） 无热再生吸附式干燥机 优点：简单、低价、便于维护 缺点： 切换频繁 ＝要求阀门高可靠 耗气量大＝耗能高、运行费用高 补救措施：采取有效、可靠的节能系统 2） 有热再生型干燥机，主要包括： 外加热鼓风再生型 带水冷却系统的鼓风再生型——所谓的零耗气系统 内加热再生型； 微热微风量再生型 优点：减少（或消除）再生耗气量，降低能耗和运行费用 缺点：系统复杂＝造价高，维护保养难度高， 单塔工作周期长 ＝ 干燥机体积增大，造价提高 补救措施：降低进气温度，并采取有效、可靠的节能系统 极低露点的CDA系统，干燥机能实现冷备份吗？ 不能！ 无热再生干燥机，检修后，重新开机到恢复露点性能和颗粒洁净度，一般至少需要2到3天。 有热再生干燥机，检修后，重新开机到恢复露点和洁净度，一般需要一周左右。 结论：干燥机的可靠性，是微电子企业盈利和生存的要素之一。 解决方案：热机备份。缺点：增加运行费用。 Why How？ 极低露点、大流量的CDA系统，能采用多机并联运行吗？ 算一算，再回答： 假设：1000Nm3/min的－70C露点CDA系统， 采用处理能力为30Nm3/min的干燥机， 需要安装35台干燥机（其中一台备用）。 难点：无法均匀控制和分配各台干燥机的流量，因此各台干燥机的露点都不相同。 记住：并联系统中，露点最差的干燥机的性能，决定了整个系统的露点性能。 若每台干燥机，平均每年故障一次，每次发现并确定故障点需要时间2小时，则每年损失有效生产时间70小时，相当于次品或废品率增加1％。若税后净利润率为5％，则这样的多机并联系统会导致利润率下降到4％，降幅为20％ ！ 典型情况下，有计划地进行干燥机的检修！每次检修从停机到恢复供气花费一周时间，则每年有35周时间，维修部门在检修干燥机！ 结论：这样的系统，无法可靠、经济地运行！ 解决措施：采用更大更可靠的干燥机，减少干燥机数量，改进系统设计，提高系统可靠性。 Why How？ Why How 0.01微米绝对过滤，容易吗？ 集成电路线宽： 45纳米，90纳米， 120 纳米。。。。。。 一颗灰尘，报废一块电路。。。。 目前世界上电子行业应用最普遍的颗粒过滤器，制造商是PALL。 滤芯价格很贵！ 需要采用可靠、长寿命的中效颗粒过滤器来保护PALL的精密过滤器！ Why How 节能有多重要？ 假设系统设计流量1500NM3/min. 则空压机总功耗约为：9000kw 电价：0.60RMB/KWH, 则每小时电费：5400RMB 每天电费：12.96万RMB 每月电费：388.8万RMB 每年电费：4665.6万RMB !!!!!!! (若利润率为5％，则需要10亿产值才能补偿电费消耗！） 若采用无热再生型干燥机，在7公斤表压下工作，没有节能系统，需要消耗15％的干空气作为再生气，则年耗气费用为700万RMB＝ 100万美元 节能：不是小事！ 推荐：有热再生干燥机，配合使用冷冻水降低进气温度（或