毕业论文（设计）多波段滤光膜的设计与制备_精品.doc

摘 要 随着红外光通信技术的发展，光学薄膜在提升光学器件性能方面扮演着越来越重要的角色。本课题主要研制以K9玻璃为基底，实现在波长532nm处，T95%；波长808nm处，T0.5%；波长1064nm处，T95%的多波段滤光膜，同时对薄膜材料的光学性能进行研究和分析，根据薄膜设计理论，借助TFC膜系软件进行膜系设计。通过对初始膜系膜层厚度的优化，获得了较为理想的膜系结构。采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术制备薄膜，对镀膜过程中影响膜层性能的工艺因素进行了分析、研究，并给出了最终设计曲线及实测曲线。 关键词：光学薄膜 多波段滤光膜 真空镀膜 离子辅助沉积 Abstract Along with the development of infrared communication technology,optical thin film in ascension optical device performance plays an increasingly heavy role.This article is developed with a base K9 and achieves wavelength at 532nm,T95%; wavelength at 808nm and T5% wavelength at 1064nm,T95% multi-band filter film.we research and analyze the optical properties of thin film materials. According to film design theory,using the TFC coating system software design,the initial film layer thickness is optimized to the best effect.The thin films were made by electron beam vacuum evaporation and ionic auxiliary deposition techniques. Affect membrane layer properties of technological factors are analyzed and studied in the coating process.And showed the ultimate design curves and the measured curves. Keywords:optical thin film;multi-band filter film;vacuum coating;ion assistant deposition(IAD) 目 录 摘 要 I ABSTRACT II 第1章　绪 论 1 1.1 薄膜的发展与应用 1 1.2 课题研究的目的和意义 1 1.3 研究的背景及内容 2 1.4 本课题研究的主要工作 3 第2章　光学薄膜的理论基础 4 2.1 单层介质薄膜的反射率 4 在界面上应用边界条件可以写出： 4 2.2 多层介质薄膜的反射率 7 第3章　多波段滤光膜的设计 9 3.1 薄膜材料的选取 9 3.1.1 薄膜材料的选则依据 9 3.1.2 选择薄膜材料 11 3.2 膜系设计 12 3.2.1 多波段滤光膜的设计 12 3.2.2 增透膜的设计 14 第4章 薄膜制备 16 4.1 真空镀膜设备简介 16 4.1.1 真空获得系统 16 4.1.2 材料蒸发系统 17 4.1.3 膜层厚度监控系统 18 4.1.4 离子源 20 4.2 工艺因素 21 4.3 制备工艺过程 23 第5章 测试结果与误差分析 25 5.1 测试结果与分析 25 5.2 薄膜制备的误差来源 25 结 论 27 参 考 文 献 28 致 谢 29 第１章　绪 论 1.1 薄膜的发展与应用 薄膜光学是研究光在分层介质中传播规律的一门科学，它主要研究光在分层介质中传播时，光线经过多次的反射由一束变成多束光，自身产生干涉效应从而改变透射光或反射光的光强。薄膜光学作为近代光学的一个重要分支[1]，随着近代光学的发展而有了快速发展，现在已经成为近代光学及电子学中一个不可或缺的重要组成部分。 回顾历史[2]，伴随17世纪“牛顿环”的发现，薄膜光学开始出露端倪。1873年，麦克斯韦先生从理论上推倒并证明了光的本质是电磁波，奠定了薄膜发展的理论基础。但是，整个19世纪人们都沉浸在薄膜制作方法和膜系结构设计手段的研究，光学薄膜在这个时期还处于早期发展阶段。这种沉默被打破是由于在1930年油扩散泵的诞生，它推动了工业制造各种薄膜