磨削加工光学元件亚表面损伤探究＊.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２６ ９ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．９ 　 　 年 月 ， ２０１４ ９ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲ ＬＡＳＥＲ ＡＮＤ ＰＡＲＴＩＣＬＥ ＢＥＡＭＳ Ｓｅ ． ２０１４ 　 　 　 　 　 　 　 ｐ 　 磨削加工光学元件亚表面损伤探究＊ １ １ １ １ １ ２ 叶 卉 ， 杨 炜 ， 胡陈林 ， 毕 果 ， 彭云峰 ， 许 乔 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （ ， ； ， ） １．厦门大学机电工程系 福建厦门 ３６１００５ ２．中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川绵阳 ６２１９００ 　 ： ， 。 摘 要 对磨削加工的 材料试件进行亚表面损伤探究 分析磨削加工产生亚表面损伤的原因 分别 Ｋ９ 　　 　 　 、 ， 、 、 用亚表面损伤深度预测法 分阶刻蚀法预测和检测元件亚表面损伤深度 并分析切深 工作台进给速度 砂轮转 。 ， ， 速等参数对亚表面损伤深度的影响 研究表明 分阶刻蚀法直观有效 与亚表面损伤深度预测法的结果一致性 。 ， ， 较好 在本文实验条件下 自行加工 试件的亚表面损伤深度随切深增大而加深 随工作台进给速度增大而 Ｋ９ ， 。 有所增加 砂轮转速对亚表面损伤深度影响并不明显 ： ； ； ； ； 关键词 光学元件 磨削 亚表面损伤 损伤深度 分阶刻蚀法 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＱ１７１．６＋５ Ａ ｄｏｉ１０．１１８８４ ＨＰＬＰＢ２０１４２６．０９２０１０ 　　 　 　　　　 　 　　 ， 、 、 、 在现代激光技术的应用发展中 激光聚变装置 高能激光 红外热成像 卫星等光学系统对高精度光学元件 　　 ［ ］ １ 。 ， 都有极大的需求 这里的高精度不仅仅