针对多轴精密同步运动控制的并行计算架构设计-中国机械工程.pdfVIP

中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月 22 18 2011 9 针对多轴精密同步运动控制的并行计算架构设计 , 程 鑫12 周云飞1 暋 暋 , , 1.华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室 武汉 430074 , , 2.武汉理工大学 武汉 430070 : , 摘要 针对光刻机工作台精密同步运动的需求 提出了一种适用于多轴精密同步运动控制的并行计 。