多晶电池扩散工序工艺标准规范.docVIP

1 范围 本标准制定了Tempress/Centrotherm/捷佳创DS-300A扩散炉的扩散参数、加工步骤、过程控制要点以及检测项目等内容。 本标准适用于作为多晶电池扩散工序作业指导书、检验规范编制的依据。 2 引用文件 C-IS-008《多晶电池生产各工序工艺技术参数》 3 产品或在制品生产环境 3.1 环境要求：级别：三千级；温度范围18℃--25℃，湿度:40%--70%. 3.2 外围要求： 3.2.1 Tempress扩散炉外围要求 排风要求： 废排压力：≤-20mmH20 3.2.2 Centrotherm扩散炉外围要求 3.2.2.1 排风要求 总排风：大于1000m3/h 单体：大于1000m3/h 气柜废排：大于1000m3/h Housing：大于1000m3/h 鼓泡器：大于1000m3/h 3.2.2.2冷却水要求 进水要求：温度：15℃--25℃，最高27℃，最小流量65L/min，去除悬浮物和颗粒，最大压强8bar绝对值 出水要求：比进水至少小4Bar，温度最高40℃ 3.2.2.3 气体要求 压缩空气：无水、无油，压力4Bar—8Bar 工艺气体的纯度至少达到99.9999%，半导体级要求 氮气压强：400kpa—1000kpa 氧气压强：400kpa—1000kpa 3.2.3捷佳创扩散炉 冷却水：软水，温度：18℃--26℃，水压：4Bar--8Bar 工艺气体的纯度至少达到99.9999%，半导体级要求 氮气压强：400kPa--1000kPa 氧气压强：400kPa--1000kPa 3.2.3捷佳创扩散炉 冷却水：软水，温度：18℃--26℃，水压：0.2MPa--0.4MPa 氮气：0.3MPa--0.6MPa 压缩空气:0.4MPa--0.6MPa 废气排气口: 大于250㎡/h 排气口：大于300㎡/h 4 安全防护措施 着装要求：戴手套、口罩，穿净化服。 5 工艺准备及易耗品 Centrotherm扩散炉及机械手、tempress扩散炉、捷佳创扩散炉、方块电阻测试仪、石英舟、防热手套、橡胶手套、口罩、少子寿命测试仪、R2D机械手。 6 工序工艺流程 硅片装载--扩散--卸载 7工艺要素 7.1工艺配方 制绒后硅片、三氯氧磷、氧气、氮气 7.2工艺参数 参考C-IS-008《多晶电池生产各工序工艺技术参数》相关内容。 8 加工过程控制要点 8.1 扩散后方块电阻控制 工艺方案TP1-70、TP2-70、CT-70、CDF43V01扩散后方块电阻平均值目标为70±3Ω/sq，平均值合格范围是65Ω/sq--80Ω/sq，单点合格范围50Ω/sq--90Ω/sq。在全部45个点中允许有不多于4个点超出范围（＞90Ω/sq或＜50Ω/sq）. 工艺方案90FANGZU(TP2-90)扩散后方块阻平均值目标为90±3Ω/Sq，平均值合格范围是80Ω/Sq--100Ω/sq，单点合格范围70Ω/sq--105Ω/sq。在全部45个点中允许有不多于4个点超出范围（＞105Ω/sq或＜70Ω/sq） 工艺方案TP1-80、TP2-80、CT-80扩散后方块电阻平均值目标为80±3Ω/sq，平均值合格范围是70Ω/sq--95Ω/sq，单点合格范围60Ω/sq--100Ω/sq。在全部45个点中允许有不多于4个点超出范围（＞100Ω/sq或＜60Ω/sq）。 8.2 控制扩散温度在规定范围内，详见C-IS-008《多晶电池生产各工序工艺技术参数》 9 工序在制品标准 扩散表面无斑点和沾污且扩散方阻符合8.1要求 10 产品包装、储存、周转运输要求 若不立即进行湿法刻蚀工艺，应用包装膜包好保存和运输。 员工录用管理制度 为规范试用期员工的管理和辅导工作，创造良好的试用期工作环境，加速试用员工的成长和进步，特制定目标责任制制度。一、员工试用期规定?1、自员工报到之日起至人力资源部确认转正之日起。?2、员工试用期限为3个月，公司根据试用期员工具体表现提前或推迟转正。（一）、福利待遇?1、试用期员工工资根据所聘的岗位确定，核算时间从到岗工作之日起计算，日工资为：月工资÷（本月天数-休假天数）2、过节费按正式员工的1/2发放。3、按正式员工标准发放劳动保护用品。（二）、休假?1、试用期内累计事假不能超过3天，如果特殊情况超过3天需报董事长批准。?2、可持相关证明请病假，请病假程序和天数与正式员工要样。3、可请丧假，请假程序和天数与正式员工要样。4、不享受探亲假、婚假。?二、员工入职准备?1、身份证复印件一份，原件待查。2、学历证明复印件一份，原件待查。 ?3、县级以上人民医院的体检报告。4、4张一寸照片?5、部分职位（如出纳、收银员、司机、仓管）试用期员工还须须准备房产证明、户口本、直系亲属身份证复印