第11 12讲 压电式传感器演示教学.pptVIP

第6章 压电式传感器;目前多用于加速度和动态力学或压力的测量。 压电传感器是一个机电转换元件。 应用： 拾音器、压电引信、燃气点火具。 ;6.1 压电效应及压电材料;压电传感器;压电材料;高分子材料压电传感器 高分子材料聚偏氟乙烯（PVF2）具有压电特性。 特点： 压电系数大，频率响应宽，机械强度好，质量轻，耐冲击。 应用： 压电薄膜制成的称重传感器； 高分子压电薄膜制成机器人触觉敏感元件。;压电材料的主要特性参数;压电材料的主要特性参数;Z—光轴;;当石英晶体不受力时，正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零。P1+P2+P3=0. 当受到X方向的压力作用时，P1减小，P2,P3增大，在X轴正方向出现负电荷； 当受到Y方向的压力作用时，P1增大，P2,P3减小，在X轴正方向出现正电荷。;二、压电陶瓷 是一种人工制造的多晶压电材料，它由无数个细微的单晶组成。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，在无电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 必须对压电陶瓷进行极化处理，在陶瓷上施加外电场。 在压电传感器中多采用钛酸钡及锆钛酸铅压电陶瓷作为压电元件。;电荷量与外力的关系：;钛酸钡的压电系数是石英的50倍，但居里温度点只有115℃，使用温度不超过70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅，居里温度点300℃，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数。;压电陶瓷可以按受力和变形的不同形式制成各种形状的压电元件。;三、压电式传感器 压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的压电效应，当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷输出。;并联使用时，电荷量增加一倍，电容量也增加一倍，输出电压不变，适合测量慢变信号并以电荷作为输出的场合； 串联使用时，电荷量不变，电容量减小一半，输出电压增大一倍，适用于以电压作输出信号，并且测量电路输入阻抗很高的场合。;6.2 压电式传感器的测量电路;压电元件的等效电路;二、压电传感器的测量电路;压电传感器的测量电路;就可以认为Uim与频率无关，?0表示测量电路时间???数的倒数。;2.电荷放大器;6.3 压电式传感器的应用;二、压电式加速度传感器;压电传感器的固有频率;二、压电式加速度传感器的几种结构 有压缩式、剪切式和弯曲式三种： 压缩式结构简单，装配较方便，也最常见； 剪切式灵敏度高，能减小基座应变的影响，容易小型化，频响范围宽，适于测量高频振动。但装配较为困难； 弯曲式固有频率低，灵敏度高，适于低频测量。缺点是体积大，机械强度较前两种差。 见图6-15;;三、金属加工切削力的测量;四、玻璃破碎报警器;压电式玻璃破碎报警器电路框图;五、压电引信;六、煤气灶电子点火器;§6.4 声表面波传感器（SAW） 声表面波（Surface Acoustic Wave) 是英国物理学家瑞利在19世纪80年代研究地震波过程中发现的一种能量集中于地表面传播的声波。 1965年，美国的 R.M.White 和 F.M. Voltmov 发明了在压电材料表面激励 SAW 的金属叉指换能器(简写IDT-InterDigit Transducer)之后，大大加速了声表面波技术的发展，相继出现了许多各具持色的 SAW 器件。;§6.4.1 SAW传感器的基本原理 一般是使待测量作用于SAW 的传播路径，引起SAW 的传播速度发生变化，从而使振荡频率发生变化，通过频率的变化来检测被测量。 SAW IDT 其基本结构形式如图 6.1 所示。 IDT 由若干淀积在压电衬底材料上的金属膜电极组成。这些电极条互相交叉配置，两端由汇流条连在一起。它的形状如同交叉平放的两排手指，故称为叉指电极。电极宽度a和间距相等的IDT称均匀(或非色散)IDT。叉;图 6.1 IDT 的基本结构;指周期 T＝2( a+b)。两相邻电极构成一电极对，其相互重叠的长度为有效指长，即称换能器的孔径，记为W。若换能器的各电极对重叠长度相等，则叫等孔径(等指长)转能器。 1DT 既可用作发射换能器，用来激励SAW，又可作接收换能器，用来接收SAW，因而这类换能器是可逆的。在发射 IDT 上施加适当频率的交流电信号后，压电基片内所出现的电场分布如图 6.2 所示。该电场可分解为垂直与水平两个分量(Ev 和 Eh)。由于基片的逆压电效应，这个电场使指条电极间的材料发生形变(使质点发生位移)，Eh 使质点产生平行于表面的压缩;图 6.2 IDT 下某一瞬间的电场分布;(膨胀)位移，Ev 则产生垂直于表面的切变位移。这种周期性的应变就产生沿 IDT 两侧表面传播出去的 SAW，其频率等于所施加电信号的频率。一侧无用的波可用一种高损耗介质吸收，另一侧的 SAW 传播至接