传感器技术及应用_樊尚春_011(第五讲-课上用.pptVIP

5.2.1 谐振现象 5.2.2 谐振子的机械品质因数 5.2 谐振状态及其评估 谐振状态 开环特性 5.2.1 谐振现象 谐振状态(理想) 5.2.1 谐振现象 谐振状态(实际) 谐振敏感元件 5.2.1 谐振现象 谐振敏感元件 谐振状态(实际) 5.2.1 谐振现象 谐振状态(实际) 谐振敏感元件 单点情况 多点情况 5.2.1 谐振现象 当 谐振频率 谐振状态(实际) 5.2.1 谐振现象 拾振器 谐振敏感元件 开环特性 ?1 ?2 激励器 5.2.1 谐振现象 1 谐振敏感元件 开环特性 5.2.1 谐振现象 1 5.2.2 谐振子的机械品质因数 结论：Q值越高，谐振子谐振状态越好！ 1 5.2.2 谐振子的机械品质因数 材 料 工 艺 设 计 环 境 ？提高Q值 5.2.2 谐振子的机械品质因数 5.1 概 述 5.2 谐振状态及其评估 5.3 闭环自激系统的实现 5.4 敏感机理及特点 5.5 几种典型的谐振式传感器 第5讲：谐振式传感器 (Resonator Sensors) * 仪器科学与光电工程学院 School of Instru. Sci. Opto-electro. Eng. * 传感器技术及应用 第1讲：绪 论 第2讲：传感器的输入输出特性 第3讲：传感器敏感结构的力学特性 第4讲：几种典型的模拟式传感器 第5讲：谐振式传感器 第6讲：发展中的传感器新技术 第7讲：总 结 课程内容 第1讲：绪 论 第2讲：传感器的输入输出特性 第3讲：传感器敏感结构的力学特性 第4讲：几种典型的模拟式传感器 第5讲：谐振式传感器 第6讲：发展中的传感器新技术 第7讲：总 结 课程内容 第5讲：谐振式传感器 (Resonator Sensors) 教材“传感器技术及应用(第二版)”，2010年， 第11章，P 276-299 5.1 概 述 5.2 谐振状态及其评估 5.3 闭环自激系统的实现 5.4 敏感机理及应用特点 5.5 几种典型的谐振式传感器 装备我国现役飞机的谐振筒式压力传感器【300米分层】 谐振式科氏直接质量流量传感器【“十一五”“863计划”】 石英谐振式集中力传感器【清华大学，冯冠平教授】 F22等先进飞机分布式大气参数测量的MEMS谐振式传感器 支撑我们主持完成的2008年度国家科技进步二等奖 第5讲：谐振式传感器 (Resonator Sensors) 必要、重要 基础、共性 谐振式传感器的必要性 谐振式测量原理与传感器 谐振式传感器的重要性 5.1 概 述 p 谐振式传感器的必要性 模拟式传感器 5.1 概 述 通过膜盒中心位移 实现压力的测量 ？ 输出为连续的模拟量电信号 主要通过位移、应变、应力实现测量 主要利用弹性敏感结构“点”静态信息 → 需要发展高性能“数字式”传感器 → 谐振式传感器就是一种典型代表 5.1 概 述 谐振式传感器的必要性 谐振式传感器的必要性 谐振式测量原理与传感器 5.1 概 述 谐振式测量原理与传感器 摆 苏 颂(1020-1101)，北宋宰相，科学家； 1088年，发明了一种“谐振式”机械结构； 率先研制出报时打钟装置，误差1s/24h. 5.1 概 述 谐振式测量原理与传感器 摆 苏 颂(1020-1101)，北宋宰相，科学家； 1088年，发明了一种“谐振式”机械结构； 率先研制出报时打钟装置，误差1s/24h. 5.1 概 述 惠更斯(1629-1695)，荷兰物理学家、天文学家、数学家; 1657年，发现“摆”的频率可以计算时间，制造出了“摆”钟 谐振式测量原理与传感器 摆 5.1 概 述 利用处于“谐振状态”的机械结构 谐振式测量原理与传感器 5.1 概 述 利用处于“谐振状态”的机械结构 傅科：法国实验物理学家 （Foucault,1819-1868） 傅科摆(1851)：地球的自转 《物理世界》杂志刊出世界十大经典物理试验，2002 谐振式测量原理与传感器 5.1 概 述 利用处于“谐振状态”的机械结构 《物理世界》杂志刊出世界十大经典物理试验，2002 傅科摆(1851)：地球的自转 “摆”是谐振式测量装置，是传感器吗？ 5.1 概 述 谐振式测量原理与传感器 利用处于“谐振状态”的机械结构 5.1 概 述 谐振式测量原理与传感器 谐振筒式压力传感器结构 圆柱壳 工作原理结构 拾振线圈 激励线圈 拾振线圈 激励线圈 Pt电阻 基座 支承骨架 外壳 圆柱壳 谐振敏感元件 5.1 概 述 圆柱壳 利用处于“谐振状态”的机械敏感结构 谐振敏感结构示意图 传感器工作时，通过检测圆柱壳的谐振频率，得到被测压力 不同压力对应着圆柱壳(谐振筒)不同的固有频率(谐振频率) 获得谐振频率 谐振式测量原理与传