多晶硅火灾危险性分析及消防技术措施.pdfVIP

多晶硅项目火灾危险性分析及消防技术措施 摘 要：通过对多晶硅生产过程中的主要危险品氢气、液氯、氯 化氢和三氯氢硅的理化性质分析以及主要生产工艺过程的火灾危险性 分析，提出多晶硅生产过程中应注意的消防安全技术措施。 关键词：多晶硅生产 火灾危险性 消防措施 引 言：多晶硅是电子工业中应用广泛的原材料，国内唯一，世 M O 界少有的年产1000吨多晶硅项目由国务院定在了四川,目前正在建设。 C . 其生产过程中使用和产生较多易燃易爆气体，火灾危险性较大，本文 G N 就此提出分析，并提出消防技术措施。 O L 一、 生产过程简介： U H 多晶硅是以水、液氯、硅粉为原料，采用电解水制氢气，氢气和 Z . 氯气反应生成氯化氢，氯化氢与硅粉反应制得三氯氢硅，三氯氢硅再 W W 与氢气还原反应制得高纯度多晶硅。 W 二、 生产和使用的危险品的理化性质分析： 1、氢气(H2): 网 氢气为无色无味气体，比空气轻，易燃易爆，比重0.0694，爆炸 龙 极限为 4.1—74.1%，点火能量 0.011 MJ 。属于强还原剂，与氧气、 筑 氯气等发生剧烈反应；火灾危险性属于甲类。 2、氯气(CL2): 氯气为黄绿色带刺激性气味的气体，它本身不燃，但有助燃性， 属于强氧化剂。沸点为—34.5℃，相对密度（空气）2.48，液氯相对 密度（水）为3.214。在日光下与易燃气体混合时会发生燃烧爆炸，属 1 于乙类火灾爆炸危险物品。（氯气还会严重刺激皮肤、眼睛、粘膜和呼 吸道，液氯还会造成严重冻伤，属于Ⅱ级职业性接触毒物。） 3、氯化氢(HCL): 氯化氢是有毒、有强腐蚀性和刺激性气味的气体，比重为1.27， 本身不燃，但极易溶于水，在空气中会形成白色酸雾，其水溶液俗称 盐酸，盐酸与铁、铝等常见金属反应生成易燃易爆的氢气。氯化氢在 空气中最高允许浓度为7.5mg/m3，属于Ⅲ级职业性接触毒物。 M O 4、三氯氢硅(SiHCl3 ): C . 三氯氢硅为无色液体，易挥发，在空气中形成白烟，遇水分解生