微机械电容式加速度计检测电路设计电气设计论文.pdfVIP

维普资讯 2006年 第25卷 第8期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 59 微机械 电容式加速度计检测 电路设计 石云波 ，王 玲 ，刘 俊 (中北大学 电子科学与技术系 电子测试技术国家重点试验室，山西 太原030051) 摘 要：通过对MEMS电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较，结合直流充放电检测方法和 交流测量方法的优点，设计了微分检测电路 ，用方波作为载波。该电路由方波信号发生器、微分电路、全波 整流电路和滤波电路组成。经试验验证 ：可检测到 lO F的差分电容，且其非线性度小于 ±l％fS，可作 为MEMS电容式加速度计的后续处理电路。 关键词：电容式加速度计；差分电容；全波整流 中图分类号：TP274 文献标识码：A 文章编号：1000—9787(2006)08—0059—02 DetectioncircuitdesignofMEMScapacitiveaccelerometer SHIYun—bo，WANGLing，LIUJun (StateKeyLaboratoryofElectronicMeasurementTechnology，DepartmentofElectronic ScienceandTechnology，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China) Abstract：InordertodetecttheMEMScapacitiveaccelerometersignal，throughcomparedoftheadvantagenad thedisadvna tageofthedifferencecapacitydetectioncircuit，combinedthedirectcurrentchargenaddischargenad alternatingcurrentmeasurementways，adifferentialdetectioncircuitisdesing ed．Thecarrierwaveisrectangular wave，htecircuitmainlyiscomposde ofrectnasui~ waveoccurrencecircuit，dffierential circuit，thewholewave commutatecircuitnadfiltercircuit．Experimentresultsshowhteresolutionis10一 F．htenonlinearityislessthna ±1％FS．thesystem Cna beusedtodetcetthecapacityaccelerometer． Keywords：capacitiveaccelerometer；differencecapacity；thewholewavecommutate 0 引 言 结合 ，是基于电容充放电的积分电路来实现 C／V的转换。 微机械电容式加速度计是以MEMS技术为基础发展 使用方波作为载波信号，克服了使用正弦信号发生器受温 起来的微型加速度传感器 ，其敏感部位为差分电容结构 ，可 度 影响的缺点，经试验验证：可检测到 l0 F的差分电 利用差分电容 的变化来反映被测加速度信号 的变化…。 容。 由于电容式加速度计具有精度高、噪声特性好 、漂移低 、温 1 基本结构和检测原理 度敏感性小、功耗低 、结构简单等优点，逐渐成为硅微加速 其测量原理是利用典型的微分电路 ，利用流过电容的