基于时空转换的精密位移测量新方法与传统方法的比较.pdf

No．4 第27卷第4期 仪 器 仪 表 学 报 V01．27 Chinese ofScientificInstrument 2006年4月 Journal Apr．2006 基于时空转换的精密位移测量新方法与 传统方法的比较’ 彭东林张兴红刘小康陈锡侯 摘要 回顾了时栅位移传感器原理和传统精密位移测量原理，通过比较其间缅微而本质的区别，可加深对时空坐标转换方法 的理解和对时栅位移传感器优势的认识。 关键词 时栅时空转换位移测重传感器 中图分类号TP212文献标识码A国家标准学科分类代码460．4030 betweenthe oftheNewPrecision Comparison Principle Displacement MeasurementMethodBasedonTime Coordinate Space TransformationandTraditionalMethod Liu Chen PengDonglinZhangXinghongXiaokangXihou (Dept．ofElectronic isbetter are the butessentialdifferencesthem，it to reviewed．Bycomparingimpereeptibility among thetime coordinatetransformationmethodandthe ofthetime sensor． space displacement advantage grating wordsTime Time transformation measurementSensor Key grating space Displacement ，引言 。一=；∑vdw,=一I警Ⅳd∑t=Pi，d22∑虹 。。， 文献[1]中提出的“时空坐标转换”和“时栅位移传 式(1)说明，由于运动物体的运动速度”是非解析 的(可能是快慢不定、忽动忽停、正反变向等)，积分无 感器”，体现了“用时间测量空间”的基本思想，以图改 法完成，于是变通为求微位移dx来完成。各种栅式传 变传统的精密位移测量方法和传感器总是依棱于精密 感器如光栅等，就是通过制造微位移凸hr(即栅距Ⅳ)· 刻划加工的传统思路，改由更廉价、手段更多样化的时 再经光电转换成为电脉冲Px·利用计数电路累加微位 间量来精密测量位移。在研制过程中一个敏感的问题 移而得到总位移z。