6 sps型压电陶瓷驱动微动并联机器人的研究.docxyy word格式.docx

摘要微定位系统和并联运动机构是当今科学研究和工程应用领域新的热点。微驱动技术与并联机器人技术交叉结合所产生的微动并联机器人已经成为一个热门课题，应用领域主要有空间技术、光学工程、微机械装配、医疗科学与生物工程、航天航空等。本文研制出了压电陶瓷直接驱动的、弹性铰链传动的6-SPS型微动并联机器人系统，该系统集精密机械、驱动和测量反馈技术于一体，实现了机构、驱动、检测一体化的设计，具有体积小、结构紧凑、刚度大、频响高等优点，并可实现纳米级的定位精度。针对微动并联机器人的特点，采用微分的方法对6-SPS型微动机器人的运动学进行了深入的分析。揭示出微动并联机器人的特征矩阵为常数矩阵，推导出的微动并联机器人的输入输出位移方程、速度方程、加速度方程均具有显式的表达形式，其转换矩阵均为常数矩阵，仅与微动机器人的结构和初始姿态有关，而与运动无关，简化了微动并联机器人的运动学和动力学分析。分析了影响微动并联机器人的工作空间的因素，利用极限边界搜索法确定了机器人的运动空间，并分析了杆长、杆长伸缩量、铰链外接圆半径、铰链分布点等参数对运动空间的影响，为并联机器人的机构设计提供参考。应用并联机器人的机构学理论，针对6-SPS型微动并联机器人弹性铰链支撑的特点，充分考虑弹性铰链的弹性反力/力矩，对6-SPS型微动并联机器人进行静力学分析，并转化为用影响系数表示的矩阵方程。通过静刚度分析推导出微动平台刚度矩阵，建立了系统动力学模型和系统模态矩阵，计算出系统的固有频率。进行了6-SPS型压电陶瓷驱动的并联机器人的机构设计，选择了驱动元件并分析了压电陶瓷的特性，分析了并联机构的构型形式和各自的适应性；对柔性铰链进行了理论建模和有限元分析，确定了柔性铰链的结构尺寸和材料，设计了机构布局方式，在此基础上利用有限元分析和运动仿真软件对整个实体模型进行了静力学有限元分析和运动空间分析，以确定是否达到预期设计目标。设计了集驱动、传感检测、闭环控制于一体的压电陶瓷闭环控制器，采用数字PID控制方法对压电陶瓷进行闭环控制。对微动并联机器人系统进行了运动范围、分辨率、重复定位精度、动态响应测试，并对比分析了压电陶瓷在开环和闭环两种控制方式下对机器人运动精度的影响。分析了影响6-SPS型微动并联机器人误差来源，建立了驱动杆长、上下平台铰链空间位置与末端输出的位姿误差模型，利用闭环测量反馈进行了误差补偿试验，取得了良好的效果。最后，采用所研制的6-SPS型微动并联机器人建立了单模光纤耦合系统，提出了一种基于机器视觉的宏微结合的光纤耦合对接作业方法。利用宏动工作台进行预对准，粗调整后光纤平均损耗0.3dB，再利用微动并联机器人进行精密调整，熔接后损耗减小到0.02dB以下，大大降低了熔接损耗。关键词6-SPS型；压电陶瓷；并联机器人；光纤耦合AbstractMicropositioningsystemandparallelstructurearethenewhotinnowadays researchandengineeringfields.Themicroparallelrobot,integratingmicroactuatortechniqueandparallelrobot,hasbecomeahotproject.Microparallelrobotcanbeusedinspacetechnique,opticalengineering,microassembly,medicalandbiologicalengineeringandspaceflightandaviationfields.Inthispapera6-SPSmicroparallelrobotsystemisdesigned,whichisdirectlydrivenbypiezoelectricceramicandtransmittedbyflexurehinge.Basedon integrationofprecisionmachinery,driverandprecisionmeasurementtechniques,therobotsystemachievesintegrativedesignwithmechanism,driverandmeasurement.Thesystemhassmallsize,compactstructure,highstiffnessandfastfrequencyresponseandcanreachesnanometerlevelpositioningaccuracy.Accordingtothecharactersofmicroparallelrobot,Kinematicalanalysisofthe6-SPSmicro parallel robot i