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扫描电子显微学基础扫描电子显微学基本概念扫描电镜的结构和原理带电粒子束显微镜分类带电粒子束显微镜电子显微镜Electron Microscope离子显微镜Ion Microscope扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope (SEM)透射电子显微镜Transmission Electron Microscope (TEM)双束显微镜Focused Ion Beam (FIB)-SEM多束显微镜Multibeam Ion Microscope热发射式(W/LaB6)场发射式(热场/冷场)热发射式(W/LaB6)场发射式(热场/冷场)镓离子束 + 电子束镓离子束 + 氦离子束 + 氖离子束扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope（SEM）扫描电子显微镜（SEM）：是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。使用电子束为照明源应用电子光学原理利用电子和物质作用所产生的信息进行成像电子束在样品表面进行扫描扫描电镜的特点Why Using SEM？高分辨率。有较高的放大倍数。景深长，视野大，成像富有立体感。试样制备简单。配备EDS，EBSD，STEM等装置，可以同时进行显微组织形貌的观察及成分和晶体微观结构的分析。分辨率ResolutionLM400nm200nmSEM0.007nm1.0nmTEM0.0025