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无尘室设计规划表 安穆科技
無塵室設計規劃表
1.無塵室的名稱及配置:應註明各室的名稱、設備配置、面積尺寸的圖面。
2.無塵室的清淨等級:應註明需要的清淨級數：
等級名稱 等級限制 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm 體積 單位 體積 單位 體積 單位 體積 單位 體積 單位 IS 英制 (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10 - - M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 - - M3.5 100 - - 26500 750 10600 300 3530 100 - - M4 - - 75700 2140 30900 875 10000 283 - - M4.5 1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00 M5 - - - - - - 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 - - - - - - 353000 10000 2470 70.0 M6 - - - - - - 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 - - - - - - 3530000 100000 24700 700 M7 - - - - - - 283000 61800 1750
美國聯邦209E標準及ISO標準
3.無塵室高度應註明樑柱位置、天花板高度、樑下高度、樓板高度及房間容積。 4.建立設備需求表，如：
1.耗電量： KW 2.電源種類： 相 伏特 Hz
3.排氣量： CFM 4.冰水流量： LPM
5.恒溫恆濕條件：
T= ± ℃、RH= ± %
6.外氣條件：□夏季35℃、85%RH，冬季6℃、50%RH。
□夏季 ℃、 RH，冬季 ℃、 RH。
7.機器發熱量： Kcal/hr×____台， KW×____台， HP×____台、 Kcal/hr×____台， KW×____台， HP×____台、
Kcal/hr×____台， KW×____台， HP×____台。
8.排氣需求量： CFM， CMM、 CFM， CMM、 CFM， CMM、 CFM， CMM。
9.工作人員(最大量)人： 人。
10.照度需求： Lux(離地70公分)。
11.正壓： 最清淨區： mmAQ，次清淨區： mmAQ，緩衝區： mmAQ。
12.噪音值： dB以下。
13.振動：縱方向 UM，橫方向 UM，上下 UM。
14.地板，例： □ Epoxy Resin □ 高架地板 □ 防靜電PVC無縫地板 □ 防靜電PVC無縫地磚 □ 導電PVC無縫地磚 □ 其它
15.隔間，例： □ 不燃紙蜂巢金屬板（耐燃二級） □ 防火PF酚醛發泡金屬板（防火一小時） □ 岩棉金屬隔間板（防火一小時） □ PU金屬板（耐燃二級）
16.天板： □ Eelling Grid天板
□ 矽酸鈣暗架天板
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