电子能谱仪ESCA.pptVIP

X-光線電子光譜(ESCA)(electron spectroscpoy for chemical analysis) 指導老師:吳 坤 憲 老師 學生:朱 羿 巫 致 　　 　　　 黃 世 目錄 前言 介紹X-光線 介紹有關X-光線的分析儀器 介紹分析儀器偵測的原理特性 介紹X-光線電子光譜(ESCA) 電子能譜儀(ESCA)機器實體 ESCA的特性 ESCA 提供的分析技術 目錄 ESCA的原理 光電效應的發現 何謂光電效應 介紹ESCA的結構 ESCA 應用在表面組成分析 前言 愛因斯坦(Einstein)於1905年曾指出：在固態物質裏，被激發出來的光電子(Photoelectron)動能等於入射之輻射能減去電子之束縛能(Bonding energy) 。 電子的束縛能不僅是元素的特徵值而且還包含了元素的化學資訊。 前言 柏傑格瑞(Bergengren)在1920年曾下了個結論： 物質裏的特定原子於特定波長時吸收X光，其內層電子游離化所需改變X光輻射能的大小取決於原子的價狀態(Valence state)或其電子的組態(Bonding state)；但是早期的光電子光譜儀(Photoelectron spectroscopy)的儀器製造上，並不能達到如X光譜儀( X-ray Spectroscopy)般良好的分析能力(Resolution)和靈敏度(Sensitivity)，所以不能被實際應用。 前言 直到以Siegbahn教授為首的一群科學家在技術上克服了這力面的困難，使得ESCA除了氫元素外，共餘皆可測知，故其用途相當廣泛，目前此儀器已肯定在研究化學結合鍵(Chemical bonding)上貢獻極大。 日前製造這些電子分析儀器的廠商有AEI、DuPont、Perkin Elmer/physical Electronics、McPherson、shimadzu及Kerns等。 介紹X-光線 X-光線在1895年侖琴先生研究陰極射線管時，發現在毫無光線的情況下，實驗室中有螢光物質發出螢光而發現。 (因為所謂螢光物質即是高能粒子打入才會發光)侖琴先生做了各項實驗，例如用木板、書本...阻擋，發現螢光物質仍會發光，顯示此種物質穿透力極高，後使用金屬板，發現此種射線可被金屬所阻。由於當時不知此種特殊射線之性質， 遂稱之為[X-RAY] 介紹X-光線 X-ray 為電磁波的一種，產生原因為高速加速電子碰撞金屬靶材，使靶材的內層電子因獲得能量而脫離其電子軌域，此時外層電子向內補充內層電子所留下的空缺，所放出電磁波。 其波長為10-11m至10-8m。 穿透力大，空間解析度高。利用此光源可以做各種的分析，小至分子中原子的距離、鍵結型態，大至人體各部位的透視，可廣泛應用於材料結晶構造鑑定、醫學及非破壞檢測實務上。 介紹有關X-光線的分析儀器 (1) X-光線光譜儀 (X-ray sepctrometer) 。 (2) X-光線繞射儀 (X-ray diffratometer)：XRD。 (3) X-光線螢光儀 (X-ray fluorescence spectrometer)：XRF。 (4)全反射式X-光螢光分析儀(Total reflection X-ray fluorescence spectrometer)：TXRF。 介紹X-光線電子光譜(ESCA) 化學分析電子儀 (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis ,ESCA;又稱X-光線電子能譜，XPS，X-ray Photoelectron Spectroscopy) 。 主要是用來研究固體表面的化學組成及其化學組態。如同歐傑電子儀 (Auger Electron Spectrometer, AES)，化學分析電子儀是一種對試片表面特性靈敏度非常高的一種分析儀器。 介紹X-光線電子光譜(ESCA) 常常和歐傑電子技術相關連在一起，主要是因為化學分析電子技術可以補歐傑電子技術之不足，可以更準確的得知原子的化學組態。 介紹X-光線電子光譜(ESCA) 再進一步的使用可以了解固態物質相關的重要訊息，其中包括界塔電位、束縛能(Binding energy)、電子組態、官能機型態、表面結構、潤濕度(wettibility)、元素含量分析……等，提供了材料不可或缺的物理、化學性質分析資訊，應用範圍遍及材料科學、表面化學、表面改質、薄膜及生化型態學、電化電池(包括燃料電池、生物電池等)各方面之研究。 介紹X-光線電子光譜(