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* 真空泵的分类 常用真空泵 的分类 气体传输泵 气体捕获泵 扩散泵 钛升华泵 溅射离子泵 低温冷凝泵 机械泵 分子泵 * 真空的获得 几种常用真空泵的工作压强范围 * 真空的测量 真空测量 绝对真空计 相对真空计 U型压力计 压缩式真空计 放电真空计 热传导真空计 电离真空计 * * 电阻真空计 规管中的加热灯丝是电阻温度系数较大的钨丝或铂丝，热丝电阻连接惠斯顿电桥，并作为电桥的一个臂，低压强下加热时，灯丝所产生的热量Q可表示为：Q=Q1+Q2,式中Q1是灯丝辐射的热量，与灯丝温度有关；Q2是气体分子碰撞灯丝而带走的热量，大小与气体的压强有关。电阻真空计的测量范围大致是105 ～ 10-2Pa。 电阻真空计结构示意图 * 热偶真空计 右图装置为热偶真空计示意图。其规管主要由加热 灯丝C与D和用来测量热丝温度的热电偶A与B组成。测量 时，热偶规管接入被测真空系统，热丝通以恒定的电流， 灯丝所产生的热量Q有一部分将在灯丝与热偶丝之间传导 散去。当气体压强降低时，热电偶节点处的温度将随热丝 温度的升高而增大，同样，热电偶冷端的温差电动势也增 大。热偶真空计的测量范围大致是102 ～ 10－1Pa。 常见气体或蒸气的修正系数 * 电离真空计 电离真空计结构示意图 电离产生的正离子I＋与发射电子流Ie、气体的压强之间的关系为： I＋＝k IeP,其中k为