新纳晶光电扩建-大气风险专题-苏州工业园区.DOC

苏州新纳晶光电有限公司高效节能半导体照明产品扩能 大气专题 苏州新纳晶光电有限 目录 1 大气污染防治措施专题 3 1.1有组织废气 3 1.1.1含氨废气（G1） 3 1.1.2酸性废气 4 1.1.3有机废气 6 1.1.4焚烧烟气 7 1.1.5废气治理设施稳定运行的管理要求 8 1.2无组织废气 9 1.3臭气 9 1.4结论 10 2环境风险评估专题 11 2.1评价目的 11 2.2 风险识别 11 2.2.1物质危险性识别 11 2.2.2生产过程风险识别 13 2.2.3储运过程风险识别 13 2.2.4公用工程风险识别 13 2.2.5环保工程风险识别 14 2.2.6重大危险源识别与判定 14 2.3风险评价等级 15 2.4 评价范围及保护目标 16 2.5 源项分析 20 2.5.1 事故源项分析 20 2.5.2 最大可信事故 21 2.5.3 风险事故影响分析 23 2.6 风险防范措施 26 2.6.1企业现有风险防范措施 26 2.6.2 本项目风险防范措施 27 2.7应急预案 33 2.7.1企业现有应急预案 33 2.7.2本项目应急预案 33 2.8结论 41 1 大气污染防治措施专题 1.1有组织废气 项目过程中主要产生的废气主要为（G1废气TVOC（G3） 1.1.1含氨废气（G1） 1）技术可行性 项目外延工序产生未分解的氨气、氮气和氢气混合废气，为提高废氨气的回收效率，废混合气单独收集经膜法吸收装置进行回收氨气，回收率约95%，处理后废气经动力房楼顶30m高排气筒P4达标排放。 图1-1 工艺流程图 原理： 风量增加到35000m3/h， 氨水回收系统是将超纯水加入一个固定的氨气回收水箱，通过防腐离心泵提升进入氨气吸收系统循环吸收，在进入吸收系统前加一板式换热器，并通过温控仪将换热器后回收水降温到0 度左右，废氨气吸收系统过滤分离后与低温的超纯水等相遇迅速溶于水中形成稀氨水，同时产生大量的反应热，而氨水水温如果过高则会不利于氨水浓度的提升，如此循环工作，直到达到设置于氨气回收水管道上的氨水浓度在线仪所设定氨水浓度设定值后自动排入浓氨储槽。 根据工程分析计算，排放浓度为35.492mg/m3，排放速率为1.242kg/h，满足《恶臭污染物排放标准》GB 14554-93表1中二级和表2标准要求。 综上分析，项目含氨废气经采取相应的治理措施处理后，能够满足相应的排放标准限值要求，故废气处理设施具有技术可行性。 2）经济可行性分析 本项目膜法吸收装置投资约50万元。 项目废气处理运行成本、、和人工费。计算结果如下：万元/年；电费预计5万元/年；人工费用：废气处理系统的维护、管理为3万元/年合计总运行成本约为10万元/年（不含折旧费） 通过以上计算可知，本废气处理系统，企业可以承担 1.1.2酸性废气 1）技术可行性 本项目外延片用10%稀硫酸清洗会产生硫酸雾废气G2；酸性蚀刻产生少量HCl废气G4；干蚀刻产生含少量Cl2废气G5。3种废气利用集气装置收集（清洗工序，蚀刻工序和集气系统密闭，集气效率100%），进入同一套两级吸收塔用进行NaOH喷淋中和净化处理，处理后废气经动力房楼顶20m高排气筒P1达标排放。 本项目酸性废气依托现有两级（碱洗+水洗）吸收塔处理，只需要对现有项目的废气收集装置进行改造，采用圆形塔体，用法兰分段连接而成。具体由贮液箱、塔体、进风段、喷淋层、填料层、旋流除雾层、出风锥帽、观检孔等组成。现有废气处理设施风量28000m3/h可满足本项目要求。 图1-2 废气净化工艺流程图? 废气处理的的工程的工艺流程： 酸雾废气→进入风管→经过酸碱废气处理塔→风机→风管→达标排放。 两级（碱洗+水洗）吸收塔主要的运作方式是不断酸雾废气由风管引入净化塔，经过填料层，废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应，酸雾废气经过净化后，再经除雾板脱水除雾后由风机排入大气。吸收液在塔底经水泵增压后在塔顶喷淋而下，最后回流至塔底循环使用。根据设计单位提供的资料，酸性混合废气中主要物质为硫酸雾、HCl、Cl2，酸雾的去除率可达90%以上，尾气可实现达标排放。? 2）经济可行性分析 本项目两级（碱洗+水洗）吸收塔装置改造投资约4万元。 项目废气处理运行成本、、和人工费。计算结果如下：1万元/年；电费预计2万元/年；人工费用：废气处理系统的维护、管理为3万元/年合计总运行成本约为3万元/年（不含折旧费） 通过以上计算可知，本废气处理系统10万元，企业可以承担1.1.3有机废气 1）技术可行性 光刻工序涂光刻胶、溶剂清洗过程溶剂挥发产生有机废气，因挥发性物质成分较复杂，且大多为非烃类物质，因此用TVOC表示挥发性物质的综合产生量。有机废气经集气装置收集（清洗工序，光刻工序和集气