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以微波电浆化学气相沉积法低温合成奈米碳管-高雄应用科技大学.pdfVIP

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  • 2018-04-23 发布于天津
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以微波电浆化学气相沉积法低温合成奈米碳管-高雄应用科技大学.pdf

    中械工程第二十一全研文集以微波化相沉法低合成奈米碳管高丁志守得立成功大航空太空工程系家奈米元件室摘要供使得程具有性因此最後所得之奈米碳管低合成直性佳且石墨程度良好之奈米碳管度相於其它方法高且由的助奈米碳是本的主之一本於低程下藉由改管合成的度亦於其它合成方法得低因此本研膜厚度程度功率及成究利用微波化相沉法低合成奈米碳理等成功地以合成出直性佳管其合成奈米碳管之步如下之奈米碳管更一步以的基板度合成出利用物理相沉法於之六矽晶直性佳之奈米碳管藉由拉曼光分析得知以表面一厚之氮化薄膜合成之多壁奈米碳管其的比值

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