第69期东方科技论坛手册 上海光源 上海应用物理研究所.doc

上海市人民政府 中国科学院 中国工程院 主办 中国科学院上海应用物理研究所 承办 第69期 东方科技论坛 The 69th Eastern Forum of Science and Technology 同步辐射在产业领域中的应用 学术研讨会 Applications of Synchrotron Radiation in Industry 2005年12月23-24日,中国·上海 Dec. 23-24, 2005, Shanghai,, China  目 录 研讨会主题背景 会议执行主席简历 日程安排 邀请出席领导和专家名单 会议摘要 致谢 一、研讨会主题背景 同步辐射装置能够提供从硬X射线到远红外波段的高亮度光束，具有非常广泛的用途。自1990年以来，国际上已先后建成了十多台高亮度的第三代同步辐射光源，我国也已在上海开工建造第三代同步辐射装置—上海光源。高亮度第三代同步辐射光源的不断问世不仅大大推动了同步辐射在众多前沿学科领域中的应用，在产业应用领域也展示出诱人的前景，已开始产生良好的经济效益。目前同步辐射在产业界的应用领域不断扩大，涵盖了微电子（半导体器件的表征）、制药（、/应力分析、织构分析）、化妆品（化妆品对头发和皮肤的影响）、食品（食品的稳定和老化）等许多方面。Lithography和XIL几种技术上。 LIGA技术是伴随着同步辐射光装置的出现而逐步发展起来的一种微细加工技术，在微机电系统（MEMS）中有着广泛的应用，主要包括DXRL光刻、电铸和塑铸三个主要工艺环节。LIGA的优越性在于它可以制造几乎任意横向几何形状的，结构高度在毫米量级的聚合物、金属及陶瓷材料的微结构与其他工业技术的结合微部件制作方面的工作陀螺仪结合电火花技术中工具电极的制造，可以比较容易地制备各种形状的纺织喷嘴。陀螺仪X射线干涉光刻（XIL）是近几年才出现的一种新型微纳加工技术，可以开展几十甚至几个纳米尺度的微纳加工，尤其是它能够制造大面积的规则结构，与同样具有纳米加工能力的电子束直写刻蚀和原子力显微镜等其它刻蚀手段相比具有大产出的特点，有规模生产的可能性。XIL所产生的特征尺寸在几纳米和几微米之间，覆盖了细菌、病毒和部分蛋白质的特征尺寸，其相应的点阵适合制作这些生物领域自组装技术研究的模版,并有可能在某些生物技术领域,尤其是周期性纳米结构对细胞生长机理的定量分析研究上取得重大突破。另外，基于XIL技术制造的大容量磁点阵、量子点阵、纳流体、光子晶体在大幅度改进传统磁存储密度、改进半导体光电性能、改进纳米光子器件性能等领域也有着潜在的工业应用前景。XIL技术为纳米技术在产业领域的应用提供了又一个途径。 同步辐射在微电子领域的应用主要集中在利用X射线光刻实现100纳米以下线宽集成芯片的开发和芯片工艺的检测方面。微电子行业在近年来的迅猛发展，使超大规模集成电路的集成度越来越高，各种精巧的结构越来越密集这类电子器件中的应力分布变得越来越复杂。X光检测半导体芯片中的微区成分、应力分布，由此比较不同设计及工艺的优劣，对选择工艺的改进具有重要意义。日、美的电子产业界充分注意到此点。利用超富集植物进行环境污染治理是当前环境科学中的一个热点研究领域。它具有投资小、维护成本低、不产生二次污染等诸多优点，在国际上被称之为“绿色修复技术”。通过同步辐射扩展X射线吸收精细结构(SR EXAFS)研究了超富集植物(大叶井口边草)中砷的化学形态(价态、元素配位)及其在植物体中的转化规律。与传统方法相比，利用EXAFS手段测定植物中的砷不需要经过复杂的化学提取过程，而且可以避免提取过程对化学性质的改变超富集植物为人们提供了研究高压状态下物质结构的有效手段 二、会议执行主席简历 徐洪杰，1955年生1995年5月起任常务副所长，2001年6月任应用物理所所长2001年8月任SSRF）工程指挥部总经理。MeV离子束原子表面结构和吸附过程的实验研究，在铝单晶的氧吸附过程等研究中，得到了新的结果；单元素和多元素荷能团簇离子的成膜及其机理的研究为核技术在材料科学中的应用拓展了新的领域。1995年6月起作为上海同步辐射装置可行性研究工作组副组长，参与完成了“上海同步辐射装置工程总体设计报告”，该报告获国内外著名专家组成的评审委员会的高度评价；自1998年10月，作为负责光束线实验站的工程副总经理，主持上海同步辐射装置工程光束线实验站的预制研究工作和首批拟建光束线和实验站的设计工作。2001年8月以来全面负责上海光源（上海同步辐射装置）工程项目，同时分管光束线和实验站的工作。 研究方向：核技术方法学及其相关学科