环境扫描电子显微镜介绍_.pptVIP

环境扫描电子显微镜;;High Vacuum;低真空扫描电镜;普通高真空扫描电镜（CSEM） ;电子光学系统、样品室系统必须处于高真空环境。;;环境扫描电子显微镜; 在一定范围内改变样品所处的环境：气压（至50Torr）、温度(至1500℃)、气氛（水蒸气或反应性气氛）。;环境扫描电镜; 环境扫描电镜: 三种操作方式 高真空方式 (常规方式) 低真空方式 (不喷涂, 非导电样品): 0.1 ~ 1 Torr 环境方式(ESEM, “Wet”样品): 0.1~20 Torr (W) 0.1~10Torr(FEG) 样品室压力通过软件设定;不导电的样品：在样品室中的气体离子化去除了荷电。; 高温：环境二次电子探测器对温度的升高不敏感，当样品加热到1500℃仍可获得二次电子像。;取消样品室中的高真空要求，采用两套真空环境——放入压差光阑（PLA:Pressure Limiting Apertures），使电子光学系统处于高真空状态，样品室处于50Torr气压环境中。;在环境扫描电镜中，样品室中的气压是由流入量与流出量的平衡决定的。流出量由压差光阑控制：气体从样品室流出的流量取决于压差光阑的尺寸和压差光阑上下气压差。流入样品室气体的流量由操作者通过一个自动气阀控制。 ;用两个靠的很近的放置在物镜中的压差光阑来满足上述要求。 ;在压差光阑至上、之间、之下分别通管道抽气