光学表面的犡射线异常散射现象-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２１ ２ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１３ ２ Ｆｅｂ．２０１３ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１３０２０２５３０７ 　 光学表面的 射线异常散射现象 犡 ，， ， １２３ １２ １ 孟艳丽 ，李 达 ，，陈 波 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ 中国科学院大学，北京 ； 东北师范大学 物理学院，吉林 长春 ） ２． １０００４９３． １３００２４ 摘要：研究了用掠入射散射法测量光学表面散射分布实验中存在的异常散射现象。首先，介绍了实验装置，并用原子力 显微镜（ ）测量了样品的表面粗糙度，给出了工作波长为 时不同样品在不同掠入射角下的表面散射分布。 ＡＦＭ ０．１５４ｎｍ 然后，分析了异常散射角与临界角的关系。最后，对影响散射强度的因素进行了分析。实验结果表明：当掠入射角大于 临界角时能观测到光学表面的异常散射现象。在波长一定的情况下，异常散射角与样品材料有关，与掠入射角和表面粗 糙度无关；异常散射角略小于临界角，误差变化为－８．６％ －０．９％。另外，镜像反射强度随着入射角和表面粗糙度的 ～ 增大而迅速减弱，但异常散射强度与镜像反射强度的比值（峰值比）反而随着掠入射角或表面粗糙度的增大而增大，其比 值在 ０．０１２ ２．６６７变化。结果证明样品的材料和表面形貌是影响异常散射分布的两个重要因素。 ～ 关 键 词： 射线异常散射；镜像反射；异常散射角；散射强度；临界角；表面粗糙度 Ｘ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ Ｏ４３４．１９ Ｏ４３６．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０２５３ 　　 　　 犡狉犪 犪狀狅犿犪犾狅狌狊狊狌狉犳犪犮犲狊犮犪狋狋犲狉犻狀 狅狀狅狋犻犮犪犾狊狌狉犳犪犮犲 狔 犵 狆 ，， ，