液晶相位延迟量测方法-工业技术研究院.PDFVIP

液晶相位延遲量測方法評估 陳怡菁、陳彥良、徐祥瀚、藍玉屏 工業技術研究院量測技術發展中心 Yu-PingLan@itri.org.tw 壹、摘要 相位延遲 (phase retardation)是計算液晶層厚度 (cell gap)的重要參數。本研究係利用常見的旋轉偏 振量測法和共光程外差干涉術，量測具有雙折射性質的扭轉向列型液晶層和四分之ㄧ波片產生的相位 延遲量，針對此兩種完全不同的量測方法進行分析評估並比較量測結果。結果顯示，無論是液晶層或 是波片兩種方法得到的量測值差異不大分別為 3.37 nm和 2.07 nm 。旋轉偏振量測法針對液晶層和波片 的量測重覆性分別為 0.03 nm和 0.02 nm ，重現性為0.15 nm和 0.44 nm ；共光程外差干涉術針對液晶 層和波片量測的重覆性為 2.37 nm和 0.8 nm ，重現性為2.61 nm和 1.59 nm 。二者對於波片的量測平均 值分別為 157.99 nm和 160.06 nm 與理論值相近，皆落在誤差範圍內。此外，本研究並分析雙折射率 偏差量對液晶層厚度計算的影響，實驗證明雙折射率偏差量的變化率和液晶層厚度 d的變化率成線性 關係，對於雙折射率差值為 0.0868液晶層厚度為 4.34 μm的液晶，雙折射率差值每增加 0.12 %則量測 到的液晶層厚度將減少 0.11 % 。 貳、前言 液晶層厚度 (cell gap)是影響液晶顯示器顯示品質的重要參數，研發階段精確的 cell gap量測以及 在製程上的控制和改善非常重要，一般而言，誤差希望能控制在 0.1~0.2 μm內。文獻上發表關於 cell gap的量測方法很多，包括相位補償 [1] 、旋轉波片或偏振片[2] 、光譜[3]及外差干涉法 [4]等，嚴格來 說，這些方法並非直接量出 cell gap ，而是量測光通過液晶盒產生的相位延遲量(phase retardation) 。由 於液晶材料的雙折射特性，光在通過液晶分子時會產生相位延遲，此相位延遲量為液晶雙折射係數與 cell gap的乘積，一般 cell gap的量測方法是根據已知液晶材料的雙折射率差值，藉由量到的相位延遲 量計算得到，因此，相位延遲量測的準確與否直接影響 cell gap的準確性。本研究係針對兩種完全不 同的液晶相位延遲量測方法：旋轉偏振量測法和共光程外差干涉術進行分析評估。旋轉偏振量測法是 目前市售 cell gap量測機台普遍使用的量測方法；而外差干涉術因具有快速反應、排除雜訊與克服訊 號飄移等優點，已被廣泛的應用在各種量測應用上。我們利用這二種完全不同的量測方式量測穿透式 向列扭轉型 (TN)液晶層和四分之ㄧ波片 (λ/4 waveplate)的相位延遲量，並以四分之ㄧ波片的理論值做為 參考值，評估比較量測結果的差異及準確性。結果顯示，針對 TN液晶層相位延遲量測差值為 3.37 nm ， 而λ/4波片的量測差值為 2.07 nm ，二者得到的量測值差異不大。比較λ/4波片的量測值與理論值，旋 轉偏振量測法和共光程外差干涉術 5 次量測平均值分別為 157.99 nm和 160.06 nm ，皆落在理論值 (158.20 ±2.11) nm範圍內。此外，由於 cell gap是利用相位延遲量除以已知液晶材料的雙折射率差值 而得，因此本研究並分析雙折射率偏差量對液晶層厚度計算的影響，實驗證明雙折射率偏差量的變化 率和液晶層厚度 d的變化率成線性關係，對於雙折射率差值為 0.0868厚度為 4.34 μm的液晶，雙折射 率差值每增加 0.12 %，則量測到的液晶層厚度將減少0.11 % 。以25 ℃為參考溫度推算當溫度變化 1 ℃ 時，△ n值改變約 1 % ，量測到的液晶層厚度差值約為1 %即 0.04 μm 。 叁、研究方法 一、旋轉偏振量測法 此為常見之液晶相位延遲量測方法，市面上所流通之液晶相位延遲量測機台多半採用這種方式， 其基本架構如圖 1所示。將待測物 S置於偏振片 P和檢偏振片 A 之間，穿透光強度會隨著偏振片或 檢偏振片的旋轉而改變，在分析旋轉角度與穿透光強度的關係之後便可得